Știri din industrie

Cuarț Boat este o componentă cheie de încărcare folosită în procesul de fabricație a semiconductorilor. Este utilizat în principal pentru procesarea la temperaturi ridicate a napolitane, cum ar fi difuzia, oxidarea și recoacerea. Stabilitatea sa termică excelentă, caracteristicile scăzute de poluare și rezistența la coroziune o fac un material indispensabil în industria semiconductorilor. Acest articol va elabora asupra materialului, proprietăților fizice, clasificării, scenariilor de aplicare ale bărcii de cuarț și diferențele sale față de PECVD Graphite Boat.

Materialul principal al bărcii de grafit PECVD este materialul grafit izotropic de înaltă puritate (puritatea este de obicei ≥99,999%), care are o conductivitate electrică excelentă, conductivitate termică și densitate. În comparație cu bărcile obișnuite de grafit, bărcile de grafit PECVD au multe avantaje de proprietate fizică și chimică și sunt utilizate în principal în industriile semiconductoare și fotovoltaice, în special în procesele PECVD și CVD.

Tăvile de grafit MOCVD joacă un rol important în procesul epitaxial. Acest articol face o analiză detaliată cu privire la selecția tăvilor de grafit MOCVD din perspectivele proprietăților materiale și a scenariilor de aplicare.