Știri din industrie

Ceramica SIC este un material ceramic produs de reacția elementelor de siliciu (SI) și de carbon (C), cu duritate extrem de ridicată, rezistență la căldură și stabilitate chimică

În lumea cu miză mare a fabricării semiconductorilor, precizia și stabilitatea sunt totul-și acolo este locul în care Electrostatic Chuck (ESC) intră. Mult mai mult decât un simplu instrument de deținere, ESC folosește forțe electrostatice pentru a prinde napolitane în timpul proceselor critice, cum ar fi gravarea, depunerea și implantarea ionului. Dar cum funcționează de fapt? De ce este superioară pringării mecanice tradiționale? Și ce rol joacă în realizarea preciziei la nano -scară și a eficienței debitului? Bine ați venit la citire.

Principiul Dechuck al mandrinei electrostatice este o parte cheie a fluxului său de lucru care implică eliminarea forței electrostatice și mecanismele de eliberare a waferului.