Nitru de siliciu

1.. Stabilitatea chimică excelentă

Ceramica de nitrură de siliciu are o stabilitate chimică excelentă și poate rezista la o varietate de acizi puternici, alcalini și gaze corozive. În procesul de fabricație a semiconductorilor trebuie adesea să se ocupe de substanțe chimice corozive, ceramica cu nitrur de siliciu poate oferi o garanție de performanță stabilă pe termen lung.

2. Proprietăți mecanice excelente

Ceramica de nitrură de siliciu are o duritate ridicată, rezistență excelentă la compresie și rezistență la uzură, capabile să reziste la stresul mecanic și la uzura suprafeței, nu ușor de deformat sau de rupt. Această proprietate mecanică o face foarte potrivită ca material pentru piese structurale și de proces în echipamentele semiconductoare.

3. Stabilitate la temperatură ridicată

Ceramica cu nitruri de siliciu poate menține stabilitatea în mediile cu temperaturi ridicate, nu ușor de înmuiat sau de topit și poate rezista la procesarea și manipularea la temperaturi ridicate în procesul de fabricație a semiconductorilor. Acest lucru îi permite să fie utilizat la fabricarea componentelor cheie ale echipamentelor de proces de temperatură ridicată, cum ar fi reuntele, componentele camerei de reacție și așa mai departe.

4. Proprietăți excelente de izolare

Proprietățile izolatoare sunt critice în fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Ceramica de nitrură de siliciu are proprietăți de izolare bune, care pot izola și proteja în mod eficient componentele circuitului de scurgerile de curent sau interferența electromagnetică, contribuind la îmbunătățirea stabilității și fiabilității dispozitivului.

5. Conductivitate termică și conductivitate termică

Ceramica de nitrură de siliciu are o conductivitate termică ridicată, poate efectua și disipa eficient căldura generată de dispozitiv, contribuind la menținerea stabilității temperaturii dispozitivului în procesul de operare. Acest lucru este esențial pentru funcționarea de înaltă performanță a dispozitivelor semiconductoare.

1.. Chucks electrostatice și componente ale camerei de gravură

Ceramica de nitrură de siliciu este adesea folosită ca materiale pentru mutri electrostatice și componente ale camerei de gravură în fabricarea semiconductorilor, datorită stabilității lor chimice excelente și a rezistenței la temperaturi ridicate. Chuck-urile electrostatice sunt utilizate pentru a repara și stabiliza napolitane sau substraturi, în timp ce componentele camerei de gravare sunt utilizate pentru a rezista la gaze corozive și medii la temperaturi ridicate.

2. Plăcile de distribuție a gazelor și reflectoarele

Ceramica cu nitruri de siliciu sunt, de asemenea, utilizate la fabricarea echipamentelor semiconductoare în plăcile de distribuție a gazelor și reflectoarele. Plăcile de distribuție a gazelor sunt utilizate pentru a distribui în mod uniform gazele reactive sau de protecție în camera de reacție, în timp ce reflectoarele sunt utilizate pentru a optimiza distribuția și reflectarea luminii în camera de reacție pentru a îmbunătăți eficiența reacției și uniformitatea.

3. Deținători și componente termice

Ceramica de nitrură de siliciu este adesea folosită ca suporturi și componente de gestionare termică în echipamentele de fabricație a semiconductorilor. Aceste componente trebuie să aibă o rezistență mecanică bună, rezistență la uzură și conductivitate termică pentru a asigura funcționarea stabilă a echipamentelor și precizia procesării dispozitivului.

4. tampoane chimice de lustruire mecanică (CMP)

Ceramica de nitrură de siliciu este utilizată pe scară largă ca material de tampon în procesul de lustruire mecanică chimică (CMP). Are o platformă excelentă și rezistență la uzură și poate oferi un suport stabil în timpul procesului de lustruire pentru a asigura planeitatea și precizia suprafeței de placă semiconductoare.