Produse

Tehnologia MOCVD

VeTek Semiconductor are avantaje și experiență în piesele de schimb MOCVD Technology.

MOCVD, denumirea completă a Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (metal-organic Chemical Vapor Deposition), poate fi numită și epitaxie metal-organică în fază de vapori. Compușii organometalici sunt o clasă de compuși cu legături metal-carbon. Acești compuși conțin cel puțin o legătură chimică între un metal și un atom de carbon. Compușii metalo-organici sunt adesea utilizați ca precursori și pot forma pelicule subțiri sau nanostructuri pe substrat prin diferite tehnici de depunere.

Depunerea de vapori chimici metalo-organici (tehnologia MOCVD) este o tehnologie de creștere epitaxială comună, tehnologia MOCVD este utilizată pe scară largă la fabricarea laserelor și led-urilor semiconductoare. În special atunci când se produc led-uri, MOCVD este o tehnologie cheie pentru producția de nitrură de galiu (GaN) și materiale aferente.

Există două forme principale de epitaxie: Epitaxie în fază lichidă (LPE) și Epitaxie în fază de vapori (VPE). Epitaxia în fază gazoasă poate fi împărțită în continuare în depunere de vapori metal-organic (MOCVD) și epitaxia cu fascicul molecular (MBE).

Producătorii străini de echipamente sunt reprezentați în principal de Aixtron și Veeco. Sistemul MOCVD este unul dintre echipamentele cheie pentru fabricarea laserelor, led-urilor, componentelor fotoelectrice, energiei electrice, dispozitivelor RF și celulelor solare.

Principalele caracteristici ale pieselor de schimb din tehnologia MOCVD produse de compania noastră:

1) Densitate ridicată și încapsulare completă: baza de grafit în ansamblu se află într-o temperatură ridicată și mediu de lucru coroziv, suprafața trebuie să fie complet înfășurată, iar acoperirea trebuie să aibă o densificare bună pentru a juca un rol protector bun.

2) Planeitate bună a suprafeței: Deoarece baza de grafit utilizată pentru creșterea unui singur cristal necesită o planeitate foarte mare a suprafeței, planeitatea inițială a bazei trebuie menținută după pregătirea stratului de acoperire, adică stratul de acoperire trebuie să fie uniform.

3) Rezistență bună de lipire: reduceți diferența de coeficient de dilatare termică dintre baza de grafit și materialul de acoperire, ceea ce poate îmbunătăți în mod eficient rezistența de aderență între cele două, iar stratul nu este ușor de spart după ce a experimentat căldură la temperaturi înalte și joase. ciclu.

4) Conductivitate termică ridicată: creșterea așchiilor de înaltă calitate necesită ca baza de grafit să furnizeze căldură rapidă și uniformă, astfel încât materialul de acoperire ar trebui să aibă o conductivitate termică ridicată.

5) Punct de topire ridicat, rezistență la oxidare la temperatură ridicată, rezistență la coroziune: acoperirea ar trebui să poată funcționa stabil în medii de lucru la temperaturi ridicate și corosive.



Așezați substrat de 4 inci
Epitaxie albastru-verde pentru creșterea LED-urilor
Găzduit în camera de reacție
Contact direct cu napolitana
Așezați substrat de 4 inci
Folosit pentru a crește filmul epitaxial UV LED
Găzduit în camera de reacție
Contact direct cu napolitana
Mașină Veeco K868/Veeco K700
Epitaxie LED alb/Epitaxie LED albastru-verde
Folosit în echipamentele VEECO
Pentru Epitaxie MOCVD
Susceptor de acoperire SiC
Echipamente Aixtron TS
Epitaxie ultravioletă profundă
Substrat de 2 inchi
Echipamente Veeco
Epitaxie LED roșu-galben
Substrat Wafer de 4 inci
Susceptor acoperit cu TaC
(Receptor SiC Epi/ UV LED)
Susceptor acoperit cu SiC
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD Susceptor)


View as  
 
Suport pentru napolitană pentru VEECO MOCVD (LED Epitaxie)

Suport pentru napolitană pentru VEECO MOCVD (LED Epitaxie)

Vetek Semiconductor produce suporturi wafer pentru sistemele VEECO MOCVD, construite special pentru lucrări de epitaxie cu LED-uri, cum ar fi LED-urile GaN, LED-urile albastru-verde și creșterea profundă a LED-urilor UV. Acești purtători încep cu grafit de înaltă puritate și obțin o acoperire densă de carbură de siliciu CVD (SiC). Această combinație rezistă bine la temperaturile ridicate pe care le vedeți în MOCVD - stabilitate termică bună, rezistență la coroziune și acoperirea durează.
Susceptor acoperit cu MOCVD SiC

Susceptor acoperit cu MOCVD SiC

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor este o soluție purtătoare proiectată cu precizie, dezvoltată special pentru creșterea epitaxială a LED-urilor și a semiconductorilor compusi. Demonstrează o uniformitate termică excepțională și inerție chimică în medii MOCVD complexe. Folosind procesul riguros de depunere CVD al VETEK, ne angajăm să îmbunătățim consistența creșterii plachetelor și să extindem durata de viață a componentelor de bază, oferind o asigurare stabilă și fiabilă a performanței pentru fiecare lot al producției dumneavoastră de semiconductori.
Susceptitor planetar acoperit cu sic

Susceptitor planetar acoperit cu sic

Susceptorul nostru planetar acoperit SIC este o componentă de bază în procesul de temperatură ridicată de fabricare a semiconductorilor. Proiectarea sa combină substratul de grafit cu acoperirea cu carbură de siliciu pentru a obține optimizarea cuprinzătoare a performanței de gestionare termică, a stabilității chimice și a rezistenței mecanice.
Susceptor cu LED UV acoperit cu sic

Susceptor cu LED UV acoperit cu sic

Susceptorul cu LED -uri UV UV acoperite cu SIC este proiectat pentru procesul MOCVD pentru a sprijini creșterea eficientă și stabilă a stratului epitaxial cu LED -uri profunde. Vetek Semiconductor este un producător de frunte și furnizor de susceptitori LED UV UV acoperiți cu SIC în China. Avem experiență bogată și am stabilit relații de cooperare pe termen lung cu mulți producători epitaxiali LED. Suntem principalul producător intern de produse susceptor pentru LED-uri. După ani de verificare, durata noastră de viață a produsului este la fel cu cea a producătorilor internaționali de top. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.
LED susceptor de epitaxie

LED susceptor de epitaxie

Suceptorul LED Epitaxy de la VeTek Semiconductor este proiectat pentru fabricarea epitaxiale cu LED-uri albastre și verzi. Combină acoperirea cu carbură de siliciu și grafitul SGL și are duritate ridicată, rugozitate scăzută, stabilitate termică bună și stabilitate chimică excelentă. LED Epitaxy susceptor este unul dintre cele mai remarcabile produse VeTek Semiconductor. Așteptăm cu nerăbdare întrebarea dvs.
Veeco a condus EP

Veeco a condus EP

Susceptorul EPI Veeco LED Vetek Semiconductor este proiectat pentru creșterea epitaxială a LED -urilor roșii și galbene. Materialele avansate și tehnologia de acoperire SIC CVD asigură stabilitatea termică a susceptorului, ceea ce face ca câmpul de temperatură să fie uniform în timpul creșterii, reducând defectele de cristal și îmbunătățind calitatea și consistența napolitanelor epitaxiale. Este compatibil cu echipamentul de creștere epitaxială al Veeco și poate fi integrat perfect în linia de producție. Proiectarea precisă și performanța fiabilă ajută la îmbunătățirea eficienței și la reducerea costurilor. Aștept cu nerăbdare întrebările dvs.
În calitate de producător și furnizor profesionist Tehnologia MOCVD în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a satisface nevoile specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați Tehnologia MOCVD avansat și durabil fabricat în China, ne puteți lăsa un mesaj.
X
Folosim cookie-uri pentru a vă oferi o experiență de navigare mai bună, pentru a analiza traficul site-ului și pentru a personaliza conținutul. Prin utilizarea acestui site, sunteți de acord cu utilizarea cookie-urilor.Politica de confidențialitate
RespingeAccepta