Carbură solidă de siliciu

Carbura de siliciu solid cu semiconductor vetek este o componentă ceramică importantă în echipamentele de gravură cu plasmă, carbură de siliciu solid (CVD carbură de siliciu) Piesele din echipamentul de gravare includInele de focalizare, cap de duș cu gaz, tavă, inele de margine, etc. Datorită reactivității și conductivității scăzute a carburii de siliciu solid (carbură de siliciu CVD) la clor - și gaze de gravură care conțin fluor, este un material ideal pentru inelele de focalizare a echipamentelor de gravare plasmatică și alte componente.

De exemplu, inelul de focalizare este o parte importantă plasată în afara plafonului și în contact direct cu placa, prin aplicarea unei tensiuni pe inel pentru a focaliza plasma care trece prin inel, concentrând astfel plasma pe placă pentru a îmbunătăți uniformitatea procesării. Inelul de focalizare tradițional este realizat din siliciu saucuarţ, siliciu conductiv ca material cu inel de focalizare obișnuit, este aproape aproape de conductivitatea napolitanelor de siliciu, dar deficitul este o rezistență slabă de gravură în plasma care conțin fluor, materialele pieselor pentru mașini de gravură adesea utilizate pentru o perioadă de timp, va exista un fenomen grav de coroziune, reducând grav eficiența producției.

SInel de focalizare Olid sicPrincipiul de lucru：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Comparația inelului de focalizare bazat pe Si și a CVD SIC Focusing Ring ：

Comparația inelului de focalizare bazat pe Si și a inelului de focalizare a CVD SIC
Articol	Si	CVD SIC
Densitate (G/cm³)	2.33	3.21
Band Gap (EV)	1.12	2.3
Conductivitate termică (w/cm ℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul elastic (GPA)	150	440
Duritate (GPA)	11.4	24.5
Rezistență la uzură și coroziune	Sărac	Excelent

Vetek Semiconductor oferă piese avansate de carbură de siliciu solid (carbură de siliciu CVD), cum ar fi inelele de focalizare SIC pentru echipamente cu semiconductor. Inelele noastre de focalizare a carburii de siliciu solid depășesc siliciul tradițional în ceea ce privește rezistența mecanică, rezistența chimică, conductivitatea termică, durabilitatea la temperatură ridicată și rezistența la gravură ionică.

Caracteristicile cheie ale inelelor noastre de focalizare SIC includ:

Densitate ridicată pentru rate de gravură reduse.

Izolare excelentă cu un bandgap înalt.

Conductivitate termică ridicată și coeficient scăzut de expansiune termică.

Rezistență la impact mecanic superior și elasticitate.

Duritate ridicată, rezistență la uzură și rezistență la coroziune.

Fabricat folosindDepunere de vapori chimici îmbunătățiți cu plasmă (PECVD)Tehnicile, inelele noastre de focalizare SIC îndeplinesc cerințele din ce în ce mai mari ale proceselor de gravare în fabricarea semiconductorilor. Sunt concepute pentru a rezista la o putere și energie plasmatică mai ridicate, în special înPlasmă cuplată capacită (CCP)sisteme.

Inelele de focalizare SIC de la Vetek Semiconductor oferă performanțe și fiabilitate excepționale în fabricarea dispozitivelor semiconductoare. Alegeți componentele noastre SIC pentru o calitate și o eficiență superioară.

View as

Cap de duș cu grafit acoperit cu CVD SIC

Capul de duș de grafit acoperit cu CVD SIC de la Veteksemicon este o componentă de înaltă performanță special concepută pentru procesele de depunere a vaporilor chimici semiconductori (CVD). Fabricat din grafit de înaltă puritate și protejat cu o acoperire de depunere de vapori chimici (CVD) din carbură de siliciu (SIC), acest cap de duș oferă o durabilitate excepțională, stabilitate termică și rezistență la gazele de proces corozive. Aștept cu nerăbdare consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de margine sic

Inele veteksemicon de înaltă puritate SIC Edge, special concepute pentru echipamente de gravură cu semiconductor, prezintă rezistență la coroziune remarcabilă și stabilitate termică, îmbunătățind semnificativ randamentul wafer

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD de înaltă puritate CVD sic materie primă

Materia primă de înaltă puritate CVD SIC preparată de CVD este cel mai bun material sursă pentru creșterea cristalului din carbură de siliciu prin transportul de vapori fizici. Densitatea materiei prime CVD SIC de înaltă puritate furnizată de Vetek Semiconductor este mai mare decât cea a particulelor mici formate prin combustie spontană a gazelor care conțin Si și C și nu necesită un cuptor de dedicat sinterizare și are o rată de evaporare aproape constantă. Poate crește cristale SIC de înaltă calitate. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Solid SIC Wafer

Transportatorul solid SIC Wafer de la Vetek Semiconductor este proiectat pentru medii rezistente la temperaturi ridicate și la coroziune în procesele epitaxiale semiconductoare și este potrivit pentru toate tipurile de procese de fabricație a wafer -ului cu cerințe de puritate ridicată. Vetek Semiconductor este un principal furnizor de transportatori de wafer în China și așteaptă cu nerăbdare să devină partenerul dvs. pe termen lung în industria semiconductorilor.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Cap de duș în formă de disc sic solid

Vetek Semiconductor este un producător de echipamente de semiconductor de top din China și un producător profesionist și furnizor de cap solid în formă de disc SIC. Capul nostru de duș cu forma discului este utilizat pe scară largă în producția de depunere a filmului subțire, cum ar fi procesul CVD pentru a asigura distribuția uniformă a gazului de reacție și este unul dintre componentele de bază ale cuptorului CVD.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Parte de sigilare sic

Ca producător și fabrică avansată de etanșare SIC și fabrică în China. Vetek Semiconducto SiC Partea de etanșare este o componentă de etanșare de înaltă performanță utilizată pe scară largă în procesarea semiconductorului și în alte procese extreme de înaltă temperatură și de înaltă presiune. Bine ați venit la consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.

Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.

Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.

To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.

În calitate de profesionist Carbură solidă de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Carbură solidă de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Carbură solidă de siliciu

Caracteristicile cheie ale inelelor noastre de focalizare SIC includ:

Cap de duș cu grafit acoperit cu CVD SIC

Inel de margine sic

CVD de înaltă puritate CVD sic materie primă

Solid SIC Wafer

Cap de duș în formă de disc sic solid

Parte de sigilare sic

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare