Cuptor de oxidare și difuzie

Cuptoarele de oxidare și difuzie sunt utilizate în diferite câmpuri, cum ar fi dispozitive semiconductoare, dispozitive discrete, dispozitive optoelectronice, dispozitive electronice de alimentare, celule solare și fabricarea de circuit integrate pe scară largă. Sunt utilizate pentru procese, inclusiv difuzarea, oxidarea, recoacerea, alierea și sinterizarea napolitanelor.

Vetek Semiconductor este un producător principal specializat în producerea de componente de grafit de înaltă puritate, carbură de siliciu și cuarț în cuptoarele de oxidare și difuzie. Ne-am angajat să oferim componente cuptor de înaltă calitate pentru industriile semiconductoare și fotovoltaice și suntem în fruntea tehnologiei de acoperire de suprafață, cum ar fi CVD-SIC, CVD-TAC, Pirocarbon, etc.

Avantajele componentelor de carbură de siliciu cu semiconductor Vetek:

● Rezistență la temperatură ridicată (până la 1600 ℃)

● Conductivitate termică excelentă și stabilitate termică

● O bună rezistență la coroziune chimică bună

● Coeficient scăzut de expansiune termică

● Forță și duritate ridicată

● Durata de viață lungă

În cuptoarele de oxidare și difuzie, datorită prezenței la temperaturi ridicate și gaze corozive, multe componente necesită utilizarea materialelor rezistente la temperatură ridicată și rezistentă la coroziune, printre care carbura de siliciu (SIC) este o alegere frecvent utilizată. Următoarele sunt componente comune de carbură de siliciu care se găsesc în cuptoarele de oxidare și cuptoarele de difuzie:

● Barcă de placă

Barca de placă din carbură de siliciu este un recipient folosit pentru a transporta napolitane de siliciu, care poate rezista la temperaturi ridicate și nu va reacționa cu napolitane de siliciu.

● Tubul cuptorului

Tubul cuptorului este componenta de bază a cuptorului de difuzie, utilizat pentru a găzdui napolitane de siliciu și pentru a controla mediul de reacție. Tuburile cuptorului din carbură de siliciu au performanțe excelente de rezistență la temperatură ridicată și la coroziune.

● Placă defecțiune

Utilizat pentru a regla fluxul de aer și distribuția temperaturii în interiorul cuptorului

● Tub de protecție a termocuplei

Utilizat pentru a proteja temperatura de măsurare a termocuplelor de contactul direct cu gazele corozive.

● Paddle cantilever

Paletele de cantilever din carbură de siliciu sunt rezistente la temperaturi ridicate și coroziune și sunt utilizate pentru a transporta bărci de siliciu sau bărci de cuarț care transportă napolitane de siliciu în tuburile cuptorului de difuzie.

● Injectorul de gaz

Folosit pentru a introduce gaz de reacție în cuptor, acesta trebuie să fie rezistent la temperaturi ridicate și coroziune.

● Transportator pentru bărci

Transportatorul de barcă cu napolitane de siliciu este utilizat pentru a repara și susține napolitane de siliciu, care au avantaje precum rezistența ridicată, rezistența la coroziune și o bună stabilitate structurală.

● Ușa cuptorului

Acoperirile sau componentele din carbură de siliciu pot fi, de asemenea, utilizate pe interiorul ușii cuptorului.

● Element de încălzire

Elementele de încălzire a carburii de siliciu sunt potrivite pentru temperaturi ridicate, putere ridicată și pot crește rapid temperaturile la peste 1000 ℃.

● SiC Liner

Folosit pentru a proteja peretele interior al tuburilor cuptorului, acesta poate ajuta la reducerea pierderii de energie termică și să reziste la medii dure, cum ar fi temperatura ridicată și presiunea ridicată.

View as

Braț robot din carbură de siliciu

Brațul nostru robotizat din carbură de siliciu (SIC) este proiectat pentru manipularea plafonului de înaltă performanță la fabricarea avansată de semiconductori. Fabricat din carbură de siliciu de înaltă puritate, acest braț robotizat oferă o rezistență excepțională la temperaturi ridicate, coroziune plasmatică și atac chimic, asigurând o funcționare fiabilă în a solicita medii în camera curată. Rezistența sa mecanică excepțională și stabilitatea dimensională permit o manipulare precisă a plafonului, reducând în același timp riscurile de contaminare, ceea ce o face o alegere ideală pentru MOCVD, epitaxie, implantare ionică și alte aplicații critice de manipulare a plafonilor. Vă salutăm întrebările.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Barca de wafer din carbură de siliciu

Barcile veteksemicon sic wafer sunt utilizate pe scară largă în procesele critice de temperatură ridicată la fabricarea semiconductorilor, care servesc ca purtători de încredere pentru oxidare, difuzie și procese de recoacere pentru circuite integrate pe bază de siliciu. De asemenea, excelează în sectorul semiconductor de a treia generație, perfect potrivit pentru procese solicitante, cum ar fi creșterea epitaxială (EPI) și depunerea de vapori chimici metalici-organici (MOCVD) pentru dispozitivele de alimentare SIC și GAN. De asemenea, susțin fabricarea la temperaturi ridicate a celulelor solare de înaltă eficiență din industria fotovoltaică. Aștept cu nerăbdare consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Palete sic cantilever

Paletele de cantilever veteksemicon sic sunt brațe de susținere a carburii de siliciu de înaltă puritate, proiectate pentru manipularea plajelor în cuptoarele de difuzie orizontală și reactoarele epitaxiale. Cu conductivitatea termică excepțională, rezistența la coroziune și rezistența mecanică, aceste palete asigură stabilitatea și curățenia în medii semiconductoare solicitante. Disponibil în dimensiuni personalizate și optimizat pentru durata de viață lungă.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Membrană ceramică sic

Membranele de ceramică Veteksemicon SIC sunt un tip de membrană anorganică și aparțin materialelor cu membrană solidă în tehnologia de separare a membranei. Membranele SIC sunt tras la o temperatură peste 2000 ℃. Suprafața particulelor este netedă și rotundă. Nu există pori sau canale închise în stratul de asistență și fiecare strat. De obicei, sunt compuse din trei straturi cu dimensiuni diferite de pori.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Placă ceramică poroasă

Plăcile noastre ceramice poroase SIC sunt materiale ceramice poroase din carbură de siliciu ca componentă principală și prelucrate prin procese speciale. Sunt materiale indispensabile în fabricarea semiconductorilor, depunerea de vapori chimici (CVD) și alte procese.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

SIC BARCA CERAMICS WAFER

Vetek Semiconductor este un principal furnizor de bărci, producător și fabrică din SIC Ceramics din China. Barca noastră SIC Ceramics Wafer este o componentă vitală în procesele avansate de manipulare a plafonilor, oferind industriile fotovoltaice, electronice și semiconductoare. Aștept cu nerăbdare consultarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

În calitate de profesionist Cuptor de oxidare și difuzie producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Cuptor de oxidare și difuzie realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Cuptor de oxidare și difuzie

Avantajele componentelor de carbură de siliciu cu semiconductor Vetek:

Braț robot din carbură de siliciu

Barca de wafer din carbură de siliciu

Palete sic cantilever

Membrană ceramică sic

Placă ceramică poroasă

SIC BARCA CERAMICS WAFER

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare