În lumea cu miză mare a fabricării semiconductorilor, precizia și stabilitatea sunt totul-și acolo este locul în care Electrostatic Chuck (ESC) intră. Mult mai mult decât un simplu instrument de deținere, ESC folosește forțe electrostatice pentru a prinde napolitane în timpul proceselor critice, cum ar fi gravarea, depunerea și implantarea ionului. Dar cum funcționează de fapt? De ce este superioară pringării mecanice tradiționale? Și ce rol joacă în realizarea preciziei la nano -scară și a eficienței debitului? Bine ați venit la citire.
Principiul Dechuck al mandrinei electrostatice este o parte cheie a fluxului său de lucru care implică eliminarea forței electrostatice și mecanismele de eliberare a waferului.
Carbonul sticlos este un carbon nefitizat care combină proprietățile sticlei și ceramicii. Are multe proprietăți, cum ar fi rezistența la temperatură ridicată, rezistența la coroziune, o bună conductivitate electrică, etc. Acest blog analizează istoricul cercetării și tendința de dezvoltare viitoare a carbonului sticloase, care merită citit.
Folosim cookie-uri pentru a vă oferi o experiență de navigare mai bună, pentru a analiza traficul site-ului și pentru a personaliza conținutul. Prin utilizarea acestui site, sunteți de acord cu utilizarea cookie-urilor.Politica de confidențialitate