Chuck-ul electrostatic (ESC), cunoscut și sub numele de Electrostatic Chuck (ESC, E-Chuck), este un corp care folosește principiul adsorbției electrostatice pentru a reține și a repara materialul adsorbit. Este potrivit pentru medii de vid și plasmă.
Transportatorii de wafer SIC, ca consumabile cheie în lanțul industriei semiconductoare de a treia generație, caracteristicile lor tehnice afectează în mod direct randamentul creșterii epitaxiale și fabricarea dispozitivelor. Odată cu creșterea cererii de dispozitive de înaltă tensiune și la temperaturi înalte în industrii precum stațiile de bază 5G și noile vehicule energetice, cercetarea și aplicarea transportatorilor de wafer SIC se confruntă acum cu oportunități de dezvoltare semnificative.
Ceramica de alumină este „calul de lucru” pentru fabricarea componentelor ceramice. Ele prezintă proprietăți mecanice excelente, puncte de topire ultra-înalte și duritate, rezistență la coroziune, stabilitate chimică puternică, rezistivitate ridicată și izolare electrică superioară. Sunt utilizate în mod obișnuit pentru fabricarea plăcilor de lustruire, a mușchilor de vid, a brațelor ceramice și a părților similare.
Folosim cookie-uri pentru a vă oferi o experiență de navigare mai bună, pentru a analiza traficul site-ului și pentru a personaliza conținutul. Prin utilizarea acestui site, sunteți de acord cu utilizarea cookie-urilor.Politica de confidențialitate