Ceramica din carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este partenerul dumneavoastră inovator în domeniul prelucrării semiconductoarelor. Cu portofoliul nostru extins de combinații de materiale ceramice cu carbură de siliciu de calitate semiconductoare, capacități de fabricare a componentelor și servicii de inginerie a aplicațiilor, vă putem ajuta să depășiți provocările semnificative. Tehnica de inginerie Ceramica cu carbură de siliciu este aplicată pe scară largă în industria semiconductoarelor datorită performanței lor excepționale a materialelor. Ceramica cu carbură de siliciu ultrapură de la VeTek Semiconductor este folosită frecvent pe parcursul întregului ciclu de fabricație și procesare a semiconductorilor.

DIFUZIA & PRELUCRARE LPCVD

VeTek Semiconductor oferă componente ceramice proiectate special concepute pentru difuzia în lot și cerințele LPCVD, inclusiv:

• Deflectoare și suporturi
• Injectoare
• Căptușeală și tuburi de proces
• Palete cantilever din carbură de siliciu
• Barci de napolitană și piedestale

Vâslă cantilever SiC Tuburi de proces SiC Tub de proces cu carbură de siliciu Barcă cu napolitană verticală SiC Barcă de napolitană orizontală SiC SiC orizontale quare napolitana barca Barcă de napolitană SiC LPCVD Barcă cu plăci orizontale SiC Inel de etanșare din ceramică SiC

COMPONENTELE PROCESULUI DE GRAVARE

Minimizați contaminarea și întreținerea neprogramată cu componente de înaltă puritate concepute pentru rigorile procesării de gravare cu plasmă, inclusiv:

Inele de focalizare

Duze

Scuturi

Capete de duș

Ferestre / Capaci

Alte componente personalizate

PRELUCRARE TERMICA RAPIDĂ ȘI COMPONENTE DE PROCES EPITAXIAL

VeTek Semiconductor oferă componente de materiale avansate, adaptate pentru aplicațiile de procesare termică la temperatură înaltă din industria semiconductoarelor. Aceste aplicații cuprind RTP, procese Epi, difuzie, oxidare și recoacere. Ceramica noastră tehnică este concepută pentru a rezista la șocuri termice, oferind performanțe fiabile și consecvente. Cu componentele VeTek Semiconductor, producătorii de semiconductori pot realiza o procesare termică eficientă și de înaltă calitate, contribuind la succesul general al producției de semiconductori.

• Difuzoare

• Izolatoare

• Susceptori

• Alte componente termice personalizate

Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate
Proprietate	Valoare tipică
Temperatura de lucru (°C)	1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere)
Conținut de SiC / SiC	> 99,96%
Conținut Si / Free Si	< 0,1%
Densitate în vrac	2,60-2,70 g/cm3
Porozitate aparentă	< 16%
Rezistența la compresiune	> 600 MPa
Rezistența la îndoire la rece	80-90 MPa (20°C)
Rezistența la îndoire la cald	90-100 MPa (1400°C)
Expansiune termică la 1500°C	4,70 10-6/°C
Conductivitate termică @1200°C	23 W/m•K
Modulul elastic	240 GPa
Rezistenta la socuri termice	Extrem de bine

View as

Cuptor de presare la cald cu vid pentru lipirea cristalelor de semințe de carbură de siliciu

Tehnologia de lipire a semințelor SiC este unul dintre procesele cheie care afectează creșterea cristalelor. VETEK a dezvoltat un cuptor specializat de presare la cald cu vid pentru lipirea semințelor, pe baza caracteristicilor acestui proces. Cuptorul poate reduce eficient diferitele defecte generate în timpul procesului de lipire a semințelor, îmbunătățind astfel randamentul și calitatea finală a lingoului de cristal.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Barcă cu casetă din silicon

Caseta de silicon de la Veteksemicon este un suport de napolitană proiectat cu precizie, dezvoltat special pentru aplicații de cuptoare cu semiconductori la temperatură înaltă, inclusiv oxidare, difuzie, introducere și recoacere. Fabricat din siliciu de puritate ultra-înaltă și finisat la standarde avansate de control al contaminării, oferă o platformă stabilă termic, inertă din punct de vedere chimic, care se potrivește îndeaproape cu proprietățile plăcilor de siliciu. Această aliniere minimizează stresul termic, reduce alunecarea și formarea defectelor și asigură o distribuție excepțional de uniformă a căldurii în întregul lot

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Paletă cantilever din carbură de siliciu pentru prelucrarea napolitanelor

Paleta cantilever cu carbură de siliciu de la Veteksemicon este proiectată pentru procesarea avansată a plachetelor în fabricarea semiconductoarelor. Fabricat din SiC de înaltă puritate, oferă o stabilitate termică remarcabilă, rezistență mecanică superioară și rezistență excelentă la temperaturi ridicate și medii corozive. Aceste caracteristici asigură o manipulare precisă a plachetelor, o durată de viață extinsă și o performanță fiabilă în procese precum MOCVD, epitaxie și difuzie. Bine ați venit să vă consultați.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Braț robot din carbură de siliciu

Brațul nostru robotizat din carbură de siliciu (SIC) este proiectat pentru manipularea plafonului de înaltă performanță la fabricarea avansată de semiconductori. Fabricat din carbură de siliciu de înaltă puritate, acest braț robotizat oferă o rezistență excepțională la temperaturi ridicate, coroziune plasmatică și atac chimic, asigurând o funcționare fiabilă în a solicita medii în camera curată. Rezistența sa mecanică excepțională și stabilitatea dimensională permit o manipulare precisă a plafonului, reducând în același timp riscurile de contaminare, ceea ce o face o alegere ideală pentru MOCVD, epitaxie, implantare ionică și alte aplicații critice de manipulare a plafonilor. Vă salutăm întrebările.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Barca de wafer din carbură de siliciu

Barcile veteksemicon sic wafer sunt utilizate pe scară largă în procesele critice de temperatură ridicată la fabricarea semiconductorilor, care servesc ca purtători de încredere pentru oxidare, difuzie și procese de recoacere pentru circuite integrate pe bază de siliciu. De asemenea, excelează în sectorul semiconductor de a treia generație, perfect potrivit pentru procese solicitante, cum ar fi creșterea epitaxială (EPI) și depunerea de vapori chimici metalici-organici (MOCVD) pentru dispozitivele de alimentare SIC și GAN. De asemenea, susțin fabricarea la temperaturi ridicate a celulelor solare de înaltă eficiență din industria fotovoltaică. Aștept cu nerăbdare consultarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Palete sic cantilever

Paletele de cantilever veteksemicon sic sunt brațe de susținere a carburii de siliciu de înaltă puritate, proiectate pentru manipularea plajelor în cuptoarele de difuzie orizontală și reactoarele epitaxiale. Cu conductivitatea termică excepțională, rezistența la coroziune și rezistența mecanică, aceste palete asigură stabilitatea și curățenia în medii semiconductoare solicitante. Disponibil în dimensiuni personalizate și optimizat pentru durata de viață lungă.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Ceramica din carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Ceramica din carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Ceramica din carbură de siliciu

DIFUZIA & PRELUCRARE LPCVD

COMPONENTELE PROCESULUI DE GRAVARE

PRELUCRARE TERMICA RAPIDĂ ȘI COMPONENTE DE PROCES EPITAXIAL

Cuptor de presare la cald cu vid pentru lipirea cristalelor de semințe de carbură de siliciu

Barcă cu casetă din silicon

Paletă cantilever din carbură de siliciu pentru prelucrarea napolitanelor

Braț robot din carbură de siliciu

Barca de wafer din carbură de siliciu

Palete sic cantilever

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare