Cod QR

Despre noi
Produse
Contactaţi-ne
Telefon
Fax
+86-579-87223657
E-mail
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China
VeTek Semiconductor este partenerul dumneavoastră inovator în domeniul prelucrării semiconductoarelor. Cu portofoliul nostru extins de combinații de materiale ceramice cu carbură de siliciu de calitate semiconductoare, capacități de fabricare a componentelor și servicii de inginerie a aplicațiilor, vă putem ajuta să depășiți provocările semnificative. Tehnica de inginerie Ceramica cu carbură de siliciu este aplicată pe scară largă în industria semiconductoarelor datorită performanței lor excepționale a materialelor. Ceramica cu carbură de siliciu ultrapură de la VeTek Semiconductor este folosită frecvent pe parcursul întregului ciclu de fabricație și procesare a semiconductorilor.
VeTek Semiconductor oferă componente ceramice proiectate special concepute pentru difuzia în lot și cerințele LPCVD, inclusiv:
• Deflectoare și suporturi
• Injectoare
• Căptușeală și tuburi de proces
• Palete cantilever din carbură de siliciu
• Barci de napolitană și piedestale
Vâslă cantilever SiC
Tuburi de proces SiC
Tub de proces cu carbură de siliciu
Barcă cu napolitană verticală SiC
Barcă de napolitană orizontală SiC
SiC orizontale quare napolitana barca
Barcă de napolitană SiC LPCVD
Barcă cu plăci orizontale SiC
Inel de etanșare din ceramică SiC
Minimizați contaminarea și întreținerea neprogramată cu componente de înaltă puritate concepute pentru rigorile procesării de gravare cu plasmă, inclusiv:
Inele de focalizare
Duze
Scuturi
Capete de duș
Ferestre / Capaci
Alte componente personalizate
VeTek Semiconductor oferă componente de materiale avansate, adaptate pentru aplicațiile de procesare termică la temperatură înaltă din industria semiconductoarelor. Aceste aplicații cuprind RTP, procese Epi, difuzie, oxidare și recoacere. Ceramica noastră tehnică este concepută pentru a rezista la șocuri termice, oferind performanțe fiabile și consecvente. Cu componentele VeTek Semiconductor, producătorii de semiconductori pot realiza o procesare termică eficientă și de înaltă calitate, contribuind la succesul general al producției de semiconductori.
• Difuzoare
• Izolatoare
• Susceptori
• Alte componente termice personalizate
Proprietățile fizice ale carburii de siliciu recristalizate | |
Proprietate | Valoare tipică |
Temperatura de lucru (°C) | 1600°C (cu oxigen), 1700°C (mediu de reducere) |
Conținut de SiC / SiC | > 99,96% |
Conținut Si / Free Si | < 0,1% |
Densitate în vrac | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porozitate aparentă | < 16% |
Rezistența la compresiune | > 600 MPa |
Rezistența la îndoire la rece | 80-90 MPa (20°C) |
Rezistența la îndoire la cald | 90-100 MPa (1400°C) |
Expansiune termică la 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Conductivitate termică @1200°C | 23 W/m•K |
Modulul elastic | 240 GPa |
Rezistenta la socuri termice | Extrem de bine |
+86-579-87223657
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Toate drepturile rezervate.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |