Produse

Crezetele de cuarț de calitate semiconductoare Veteksemicon sunt consumabile cheie în procesul de creștere a unui singur cristal Czochralski. Având ca obiectiv principal o puritate extremă și o stabilitate termică superioară, ne angajăm să oferim clienților produse de înaltă calitate care prezintă performanțe stabile și rezistență excelentă la cristalizare în medii cu temperaturi ridicate și presiune înaltă. Acest lucru asigură calitatea tijelor de cristal de la sursă, ajutând fabricarea plăcilor de siliciu semiconductoare să obțină randamente mai mari și o rentabilitate mai bună.

Inelul de focalizare Veteksemicon este proiectat special pentru echipamente solicitante de gravare a semiconductoarelor, în special aplicații de gravare SiC. Montat în jurul mandrinei electrostatice (ESC), în imediata apropiere a plachetei, funcția sa principală este de a optimiza distribuția câmpului electromagnetic în camera de reacție, asigurând o acțiune uniformă și concentrată a plasmei pe întreaga suprafață a plachetei. Un inel de focalizare de înaltă performanță îmbunătățește semnificativ uniformitatea ratei de gravare și reduce efectele marginilor, sporind direct randamentul produsului și eficiența producției.

Placa de transport din carbură de siliciu Veteksemicon pentru gravare cu LED, special concepută pentru fabricarea cipurilor LED, este un consumabil de bază în procesul de gravare. Fabricat din carbură de siliciu de înaltă puritate sinterizată cu precizie, oferă rezistență chimică excepțională și stabilitate dimensională la temperatură ridicată, rezistând eficient la coroziune de la acizi, baze și plasmă puternice. Proprietățile sale scăzute de contaminare asigură randamente ridicate pentru napolitanele epitaxiale LED, în timp ce durabilitatea sa, care o depășește cu mult pe cea a materialelor tradiționale, ajută clienții să reducă costurile totale de operare, făcându-l o alegere fiabilă pentru îmbunătățirea eficienței și consistenței procesului de gravare.

Barca din grafit Veteksemicon pentru PECVD este prelucrată cu precizie din grafit de înaltă puritate și proiectată special pentru procesele de depunere chimică de vapori îmbunătățită cu plasmă. Folosind înțelegerea noastră profundă a materialelor din câmpul termic al semiconductoarelor și a capacităților de prelucrare de precizie, oferim bărci din grafit cu stabilitate termică excepțională, conductivitate excelentă și o durată lungă de viață. Aceste bărci sunt proiectate pentru a asigura o depunere foarte uniformă a peliculei subțiri pe fiecare napolitană în mediul solicitant al procesului PECVD, îmbunătățind randamentul procesului și productivitatea.

Inelul de grafit acoperit cu CVD TaC de la Veteksemicon este conceput pentru a satisface cerințele extreme ale prelucrării plachetelor semiconductoare. Folosind tehnologia Chemical Vapor Deposition (CVD), un strat dens și uniform de Carbură de Tantal (TaC) este aplicat pe substraturi de grafit de înaltă puritate, obținând o duritate excepțională, rezistență la uzură și inerție chimică. În fabricarea semiconductorilor, inelul de grafit acoperit cu CVD TaC este utilizat pe scară largă în camerele MOCVD, gravare, difuzie și creștere epitaxială, servind ca o componentă structurală sau de etanșare cheie pentru purtătorii de plachete, susceptori și ansambluri de ecranare. Aștept cu nerăbdare consultația dvs. ulterioară.

Inelul poros de grafit acoperit cu TaC produs de VETEK folosește un substrat ușor de grafit poros și este acoperit cu un strat de carbură de tantal de înaltă puritate, oferind o rezistență excelentă la temperaturi înalte, gaze corozive și eroziune cu plasmă.