Acoperire cu carbură de tantal

VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.

Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.

Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:

Excellent properties of TaC coating graphite

Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.

Caracteristici cheie:

●Stabilitatea temperaturii

●Puritate ultra înaltă

●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si

●Rezistenta la stoc termic

●Aderență puternică la grafit

●Acoperire de acoperire conformă

● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)

Aplicații:

●Purtător de napolitane

● Susceptor de încălzire inductiv

● Element de încălzire rezistiv

●Disc satelit

●Cap de dus

●Inel de ghidare

●Receptor LED Epi

●Duza de injectie

●Inel de mascare

● Scut termic

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate	14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică	0.3
Coeficientul de dilatare termică	6.3 10^-6/K
Duritate (HK)	2000 HK
Rezistenţă	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitate termică	<2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică	-10~-20um
Grosimea acoperirii	≥20um valoare tipică (35um±10um)

Date EDX de acoperire TaC：

EDX data of TaC coating

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Element	Procent atomic
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Medie
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrina de acoperire TaC TaC acoperire disc planetar
Placă acoperită cu TaC Placă de rotație a acoperirii TaC Receptor de acoperire TaC Acoperire cu acoperire CVD TaC Inel de acoperire CVD TaC Placă de acoperire TaC

View as

Inel acoperit cu TAC pentru creșterea PVT a sic unic cristal

Ca unul dintre principalii furnizori de produse de acoperire TAC din China, Vetek Semiconductor este capabil să ofere clienților piese personalizate de acoperire TAC de înaltă calitate. Inelul acoperit cu TAC pentru creșterea PVT a SIC Single Crystal este unul dintre cele mai remarcabile și mai mature produse Vetek Semiconductor. Acesta joacă un rol important în creșterea PVT a procesului de cristal SIC și poate ajuta clienții să crească cristale SIC de înaltă calitate. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de ghidare cu trei petale acoperite cu CVD TAC

Vetek Semiconductor a experimentat mulți ani de dezvoltare tehnologică și a stăpânit tehnologia de procesare a procesului de acoperire TAC CVD. Inelul de ghidare cu trei petale acoperite cu CVD TAC este unul dintre cele mai mature produse de acoperire TAC CVD TAC ale Vetek Semiconductor și este o componentă importantă pentru pregătirea cristalelor SIC prin metoda PVT. Cu ajutorul Vetek Semiconductor, cred că producția ta de cristal SIC va fi mai netedă și mai eficientă.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de acoperire cu carbură tantalică

Inelul de acoperire a carburii de carbură de carbură cu tantar vetek cu semiconductor este o componentă indispensabilă în industria semiconductorilor, în special în gravarea napolitanelor SIC. Combinația sa de o bază de grafit și acoperire TAC asigură performanțe superioare în medii cu temperaturi ridicate și chimic agresiv. Cu stabilitatea termică îmbunătățită, rezistența la coroziune și rezistența mecanică, inelul acoperit cu carbură de tantal ajută producătorii de semiconductori să obțină precizie, fiabilitate și rezultate de înaltă calitate în procesele lor de producție.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de acoperire TaC

TaC Coating Ring este o componentă de înaltă performanță concepută pentru utilizarea în procesele semiconductoare, VeTek semiconductor TaC Coating Ring are stabilitate termică ridicată, rezistență la coroziune chimică și o rezistență mecanică excelentă și este utilizat în mod special pentru a ține și susține napolitanele SiC în timpul procesului de gravare, unde controlul precis și durabilitatea sunt esențiale pentru obținerea de napolitane de înaltă calitate. aşteptăm cu nerăbdare consultarea dumneavoastră ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Creuzet de acoperire TAC

În calitate de furnizor și producător profesionist de acoperire TAC în China, creuzetul de acoperire TAC Vetek Semiconductor joacă un rol de neînlocuit în procesul de creștere a semiconductorilor cu un singur cristal, cu conductivitatea termică excelentă, stabilitatea chimică remarcabilă și rezistența la coroziune sporită. Bine ați venit la întrebările dvs. suplimentare.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de ghid acoperit cu carbură tantalum

În calitate de furnizor și producător de inele de ghidare TaC lider în China, inelul de ghidare acoperit cu carbură de tantal VeTek Semiconductor este o componentă importantă folosită pentru a ghida și optimiza fluxul de gaze reactive în metoda PVT (Physical Vapor Transport). Promovează depunerea uniformă a monocristalelor de SiC în zona de creștere prin ajustarea distribuției și vitezei fluxului de gaz. VeTek Semiconductor este un producător și furnizor de top de inele de ghidare de acoperire TaC în China și chiar în lume și așteptăm cu nerăbdare consultarea dumneavoastră.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de tantal producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de tantal realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de tantal

Caracteristici cheie:

Aplicații:

Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:

Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:

Date EDX de acoperire TaC：

Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:

Inel acoperit cu TAC pentru creșterea PVT a sic unic cristal

Inel de ghidare cu trei petale acoperite cu CVD TAC

Inel de acoperire cu carbură tantalică

Inel de acoperire TaC

Creuzet de acoperire TAC

Inel de ghid acoperit cu carbură tantalum

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare