VeTek semiconductor este un producător de frunte de materiale de acoperire cu carbură de tantal pentru industria semiconductoarelor. Principalele noastre oferte de produse includ piese de acoperire cu carbură de tantal CVD, piese de acoperire TaC sinterizate pentru creșterea cristalelor de SiC sau proces de epitaxie a semiconductorilor. A trecut ISO9001, VeTek Semiconductor are un control bun asupra calității. VeTek Semiconductor este dedicat să devină inovator în industria acoperirii cu carbură de tantal prin cercetarea și dezvoltarea continuă a tehnologiilor iterative.
Principalele produse suntInel de ghidare acoperit cu TaC, Inel de ghidare cu trei petale acoperit cu CVD TaC, Carbură de tantal TaC acoperit Halfmoon, CVD TaC acoperire susceptor epitaxial planetar SiC, Inel de acoperire cu carbură de tantal, Grafit poros acoperit cu carbură de tantal, Susceptor de rotație a acoperirii TaC, Inel din carbură de tantal, Placă de rotație a acoperirii TaC, Susceptor de plachetă acoperit cu TaC, Inel deflector acoperit cu TaC, Capac de acoperire CVD TaC, Mandrină acoperită cu TaCetc., puritatea este sub 5 ppm, poate satisface cerințele clienților.
Grafitul de acoperire cu TaC este creat prin acoperirea suprafeței unui substrat de grafit de înaltă puritate cu un strat fin de carbură de tantal printr-un proces brevetat de depunere chimică în vapori (CVD). Avantajul este prezentat în imaginea de mai jos:
Acoperirea cu carbură de tantal (TaC) a atras atenția datorită punctului său de topire ridicat de până la 3880°C, rezistenței mecanice excelente, durității și rezistenței la șocuri termice, făcându-l o alternativă atractivă la procesele de epitaxie cu semiconductor compus cu cerințe de temperatură mai ridicate, cum ar fi sistemul Aixtron MOCVD și procesul de epitaxie LPE SiC. Are, de asemenea, o aplicație largă în procesul de creștere a cristalelor din metoda PVT SiC.
Caracteristici cheie:
●Stabilitatea temperaturii
●Puritate ultra înaltă
●Rezistenta la H2, NH3, SiH4, Si
●Rezistenta la stoc termic
●Aderență puternică la grafit
●Acoperire de acoperire conformă
● Dimensiune până la 750 mm diametru (Singurul producător din China atinge această dimensiune)
Aplicații:
●Purtător de napolitane
● Susceptor de încălzire inductiv
● Element de încălzire rezistiv
●Disc satelit
●Cap de dus
●Inel de ghidare
●Receptor LED Epi
●Duza de injectie
●Inel de mascare
● Scut termic
Acoperire cu carbură de tantal (TaC) pe o secțiune transversală microscopică:
Parametrul acoperirii cu carbură de tantal VeTek Semiconductor:
|
Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
|
|
Densitate
|
14,3 (g/cm³)
|
|
Emisivitate specifică
|
0.3
|
|
Coeficientul de dilatare termică
|
6.3 10-6/K
|
|
Duritate (HK)
|
2000 HK
|
|
Rezistenţă
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Stabilitate termică
|
<2500℃
|
|
Dimensiunea grafitului se modifică
|
-10~-20um
|
|
Grosimea acoperirii
|
≥20um valoare tipică (35um±10um)
|
Date EDX de acoperire TaC：
Datele structurii cristalului de acoperire cu TaC:
|
Element
|
Procent atomic
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Medie
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
M
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
