Știri

Chuck-ul electrostatic (ESC), cunoscut și sub numele de Electrostatic Chuck (ESC, E-Chuck), este un corp care folosește principiul adsorbției electrostatice pentru a reține și a repara materialul adsorbit. Este potrivit pentru medii de vid și plasmă.

Transportatorii de wafer SIC, ca consumabile cheie în lanțul industriei semiconductoare de a treia generație, caracteristicile lor tehnice afectează în mod direct randamentul creșterii epitaxiale și fabricarea dispozitivelor. Odată cu creșterea cererii de dispozitive de înaltă tensiune și la temperaturi înalte în industrii precum stațiile de bază 5G și noile vehicule energetice, cercetarea și aplicarea transportatorilor de wafer SIC se confruntă acum cu oportunități de dezvoltare semnificative.

Ceramica de alumină este „calul de lucru” pentru fabricarea componentelor ceramice. Ele prezintă proprietăți mecanice excelente, puncte de topire ultra-înalte și duritate, rezistență la coroziune, stabilitate chimică puternică, rezistivitate ridicată și izolare electrică superioară. Sunt utilizate în mod obișnuit pentru fabricarea plăcilor de lustruire, a mușchilor de vid, a brațelor ceramice și a părților similare.

Materialele semiconductoare pot fi clasificate în trei generații în ordine cronologică. Prima generație este formată din materiale elementare comune, cum ar fi germaniul și siliciul, care sunt caracterizate prin comutarea convenabilă și sunt utilizate în general în circuitele integrate. Semiconductorii compuși de a doua generație, cum ar fi arsenidul de galiu și fosfura de indiu, sunt utilizați în principal în materiale luminescente și de comunicare.

Dispozitivele de cuarț joacă un rol critic în fabricarea celulelor solare, oferind o rezistență termică excepțională, puritate chimică și stabilitate structurală necesară în procesele de temperatură ridicată. De la tuburile de difuzie cu cuarț și creuzetele până la bărcile de cuarț și componentele cuptorului, aceste materiale de înaltă puritate sunt esențiale pentru obținerea eficienței optime în difuzie, BCV și etape de gravare umedă.

Acoperirea TAC elimină aproape complet fenomenul de încapsulare a carbonului prin izolarea contactului direct dintre creuzetul de grafit și topirea sic, reducând semnificativ densitatea defectului microtuburilor