Ştiri

Acest articol descrie în principal perspectivele largi de aplicare ale ceramicii cu carbură de siliciu. De asemenea, se concentrează pe analiza cauzelor fisurilor de sinterizare în ceramica cu carbură de siliciu și soluțiile corespunzătoare.

Tehnologia de gravură la fabricarea semiconductorilor întâlnește adesea probleme precum efectul de încărcare, efectul micro-până la efect și efectul de încărcare, care afectează calitatea produsului. Soluțiile de îmbunătățire includ optimizarea densității plasmatice, reglarea compoziției gazelor de reacție, îmbunătățirea eficienței sistemului de vid, proiectarea aspectului rezonabil de litografie și selectarea materialelor de mască de gravare adecvate și a condițiilor de proces.