Cum îmbunătățește acoperirea TAC durata de serviciu a componentelor de grafit? - Vetek Semiconductor

Acoperire cu carbură de tantal CVDeste produs prin depunerea de vapori a carburii de tantalum (TAC) pe suprafața substratului de grafit de înaltă puritate folosind procesul de depunere de vapori chimici (CVD) de la Vetek Semiconductor.

Acoperirile cu carbură de tantal (TaC) îmbunătățesc semnificativ durata de viață aPiese de grafitPrin mecanisme multiple, în special în medii cu temperaturi ridicate, extrem de corozive, cum ar fi fabricarea semiconductorilor și creșterea cristalului. 

Iată motivele specifice pentru careAcoperiri TaCsporește durabilitatea pieselor din grafit:

●  Rezistență îmbunătățită la temperaturi ridicate

Stabilitate termică extrem de ridicată: acoperirile TaC sunt capabile să rămână stabile la temperaturi extrem de ridicate care depășesc 2000°C și pot funcționa chiar și eficient la 2200C. Această toleranță la temperatură ridicată permite acoperirii să reziste la eroziunea metalelor topite și a gazelor chimice în timpul producției de semiconductori, prelungind astfel durata de viață a pieselor din grafit.

●  Rezistență excelentă la coroziune

Rezistența la eroziune chimică: Acoperirile TaC au o rezistență puternică la gazele corozive, cum ar fi hidrogenul, amoniacul și vaporii de siliciu, care pot împiedica eficient aceste gaze să corodeze substratul de grafit și să reducă riscul de deteriorare a pieselor din grafit în medii dure. Aceasta înseamnă că în timpul procesului de creștere a cristalului, acoperirea poate inhiba migrarea impurităților și poate îmbunătăți calitatea și randamentul cristalului.

● Proprietăți mecanice îmbunătățite

Adeziune bună și rezistență la șoc termic: acoperirile TAC au o aderență puternică la substratul de grafit, asigurându-se că acoperirea nu se va coji sau delaminat în timpul operațiunilor de temperatură ridicată. În plus, rezistența sa excelentă de șoc termic poate rezista la modificări rapide ale temperaturii fără fisură sau decojire, extinzând în continuare durata de viață a pieselor de grafit.

● Reduceți contaminarea impurității

Puritate ultra-înaltă: acoperirile TaC au un conținut extrem de scăzut de impurități, ceea ce ajută la reducerea problemelor de contaminare care pot apărea în condiții de temperatură ridicată. Prin prevenirea migrarii impurităților nedorite către stratul epitaxial, acoperirile TaC îmbunătățesc semnificativ puritatea și calitatea procesului de creștere a cristalelor.

●  Optimizați managementul termic

Îmbunătățirea conductibilității și rezistivității termice: Acoperirile TaC au o conductivitate și rezistivitate termică relativ scăzute, ceea ce permite aplicarea lor în încălzitoare și alte componente de management termic pentru a îmbunătăți eficiența energetică și a reduce pierderile de energie. Această caracteristică nu numai că îmbunătățește eficiența de funcționare, dar reduce și oboseala materialului și daunele cauzate de supraîncălzire.