SIC Coating Wafer Carrier

Vetek Semiconductor este specializat în fabricarea și furnizarea de transportatori de acoperire SIC de înaltă performanță și se angajează să ofere soluții avansate de tehnologie și produse industriei semiconductorilor.

În fabricarea semiconductorilor, purtătorul de nave de acoperire SIC de la Vetek Semiconductor este o componentă cheie în echipamentele de depunere a vaporilor chimici (CVD), în special în echipamentele de depunere de vapori chimici din metal (MOCVD). Sarcina sa principală este de a sprijini și încălzi substratul cu un singur cristal, astfel încât stratul epitaxial să poată crește uniform. Acest lucru este esențial pentru fabricarea dispozitivelor semiconductoare de înaltă calitate.

Rezistența la coroziune a acoperirii SIC este foarte bună, ceea ce poate proteja eficient baza de grafit de gazele corozive. Acest lucru este deosebit de important în mediile la temperaturi ridicate și corozive. În plus, conductivitatea termică a materialului SIC este, de asemenea, foarte excelentă, ceea ce poate efectua uniform căldură și poate asigura o distribuție uniformă a temperaturii, îmbunătățind astfel calitatea de creștere a materialelor epitaxiale.

Acoperirea SIC menține stabilitatea chimică la temperaturi ridicate și atmosferă corozivă, evitând problema defecțiunii acoperirii. Mai important, coeficientul de expansiune termică a SIC este similar cu cel al grafitului, ceea ce poate evita problema vărsării acoperirii din cauza expansiunii și contracției termice și poate asigura stabilitatea și fiabilitatea pe termen lung a acoperirii.

Proprietăți fizice de bază aleSIC Coating Wafer Carrier:

Magazin de producție:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipului semiconductor: