Știri din industrie

Depunerea chimică de vapori (CVD) în fabricarea semiconductoarelor este utilizată pentru a depune materiale cu film subțire în cameră, inclusiv SiO2, SiN etc., iar tipurile utilizate în mod obișnuit includ PECVD și LPCVD. Prin ajustarea temperaturii, presiunii și tipului de gaz de reacție, CVD realizează o puritate ridicată, uniformitate și o acoperire bună a filmului pentru a îndeplini diferite cerințe ale procesului.

Acest articol descrie în principal perspectivele largi de aplicare ale ceramicii cu carbură de siliciu. De asemenea, se concentrează pe analiza cauzelor fisurilor de sinterizare în ceramica cu carbură de siliciu și soluțiile corespunzătoare.