Știri din industrie

Lustruirea chimică mecanică (CMP) îndepărtează excesul de material și defectele de suprafață prin acțiunea combinată a reacțiilor chimice și a abraziunii mecanice. Este un proces cheie pentru realizarea planarizării globale a suprafeței plachetei și este indispensabil pentru interconexiunile multistrat de cupru și structurile dielectrice low-k. În producția practică

Pasta de lustruire a plachetelor de siliciu CMP (Chemical Mechanical Planarization) este o componentă critică în procesul de fabricație a semiconductorilor. Joacă un rol esențial în asigurarea faptului că plachetele de siliciu - utilizate pentru a crea circuite integrate (IC) și microcipuri - sunt lustruite la nivelul exact de netezime necesar pentru următoarele etape de producție

În fabricarea semiconductoarelor, planarizarea chimică mecanică (CMP) joacă un rol vital. Procesul CMP combină acțiuni chimice și mecanice pentru a netezi suprafața plachetelor de siliciu, oferind o bază uniformă pentru etapele ulterioare, cum ar fi depunerea și gravarea filmului subțire. Pasta de lustruire CMP, ca componentă de bază a acestui proces, are un impact semnificativ asupra eficienței lustruirii, a calității suprafeței și a performanței finale a produsului.

Pasta de lustruire Wafer CMP este un material lichid special formulat utilizat în procesul CMP de fabricare a semiconductorilor. Constă din apă, agenți chimici, abrazivi și agenți tensioactivi, permițând atât gravarea chimică, cât și lustruirea mecanică.

Abrazivii cu carbură de siliciu sunt în mod obișnuit produși folosind cuarț și cocs de petrol ca materii prime primare. În etapa pregătitoare, aceste materiale sunt supuse procesării mecanice pentru a obține dimensiunea dorită a particulelor înainte de a fi proporționale chimic în sarcina cuptorului.

În ultimii câțiva ani, scena centrală a tehnologiei de ambalare a fost treptat cedată unei aparent „tehnologii veche” - CMP (Lustruire chimică mecanică). Când Hybrid Bonding devine rolul principal al noii generații de ambalaje avansate, CMP trece treptat din culise în centrul atenției.