Știri din industrie

Analiza aprofundată a cauzelor îngălbenirii marginilor și exfolierii acoperirii cu carbură de siliciu pe susceptorii de grafit epitaxial MOCVD. VeTek a eliminat micro-stresul prin controlul precis al vitezei inițiale de depunere CVD și al câmpului de curgere, crescând randamentul acoperirii de la 50% la 90% și prelungind durata de viață a pieselor de grafit de înaltă puritate.

Abordând variația de 1,4% a grosimii buzunar la buzunar în susceptorii de grafit cu epitaxie de siliciu cu mai multe buzunar, VeTek Semi a îmbunătățit planeitatea susceptorului la <0,08 mm și a redus variația la 0,69% prin simularea câmpului de curgere CVD și acoperirea cu SiC ultra-precizie, sporind randamentul plachetei.

Aflați cum Vetek a eliminat fisurarea radială în susceptorii de grafit acoperiți cu MOCVD SiC de dimensiuni mari. Reproiectarea tamponului de stres structural și potrivirea CTE au crescut durata de viață cu 300%+.