Piedestal de silicon

Susceptorul de siliciu cu semiconductor Vetek este un produs de siliciu pur, conceput pentru a asigura stabilitatea temperaturii în tubul de reactor termic în timpul procesării plafonului de siliciu, îmbunătățind astfel eficiența izolației termice. Procesarea plafonului de siliciu este un proces extrem de precis, iar temperatura joacă un rol crucial, afectând direct grosimea și uniformitatea filmului de placă de siliciu.

Piedestalul de siliciu este situat în partea inferioară a tubului reactorului termic al cuptorului, susținând siliciulpurtător de napolitaneoferind în același timp o izolație termică eficientă. La sfârșitul procesului, se răcește treptat până la temperatura ambiantă împreună cu purtătorul de napolitane de siliciu.

Funcțiile de bază și beneficiile piedestalelor de siliciu cu semiconductor Vetek:

Oferiți suport stabil pentru a asigura acuratețea procesului

Piedestalul din silicon oferă o platformă de sprijin stabilă și foarte rezistentă la căldură pentru barca din silicon în camera cuptorului cu temperatură înaltă. Această stabilitate poate împiedica efectiv mișcarea sau înclinarea barcii din silicon în timpul procesării, evitând astfel afectarea uniformității fluxului de aer sau distrugerea distribuției temperaturii, asigurând precizie și consistență ridicate a procesului.

Îmbunătățiți uniformitatea temperaturii în cuptor și îmbunătățiți calitatea plafonului

Izolând barca de silicon de contactul direct cu fundul cuptorului sau peretele, baza de siliciu poate reduce pierderile de căldură cauzate de conducție, obținând astfel o distribuție mai uniformă a temperaturii în tubul de reacție termică. Acest mediu termic uniform este esențial pentru a obține uniformitatea difuziei plachetei și a stratului de oxid, îmbunătățind considerabil calitatea generală a plachetei.

Optimizați performanța de izolare termică și reduceți consumul de energie

Proprietățile excelente de izolare termică ale materialului pe bază de siliciu ajută la reducerea pierderilor de căldură în camera cuptorului, îmbunătățind astfel semnificativ eficiența energetică a procesului. Acest mecanism eficient de management termic nu numai că accelerează ciclul de încălzire și răcire, dar reduce și consumul de energie și costurile de operare, oferind o soluție mai economică pentru fabricarea semiconductorilor.

Specificațiile VeTek Semiconductor Silicon Pedestal

Magazine de producție VeTek Semiconductor Silicon Pedestal