CVD SIC Susceptor de grafit de acoperire

Susceptorul de grafit de acoperire CVD SIC este special conceput pentru fabricarea de înaltă precizie în industria semiconductorilor. Substratul de grafit este acoperit cu un strat SIC de înaltă puritate de către procesul CVD, care are o rezistență excelentă la temperatură ridicată, rezistență la coroziune și rezistență la oxidare și poate funcționa stabil pentru o perioadă lungă de timp în medii de temperatură ridicată și vid. Acest piedestal este utilizat pe scară largă în MOCVD, PECVD, PVD și alte echipamente pentru a sprijini procesarea și manipularea napolitanelor și a altor materiale de înaltă precizie.

Avantaje de bază:

● Stabilitatea temperaturii ridicate: Grafitul de înaltă puritate în sine are o stabilitate termică excelentă. După ce a fost acoperit cu acoperire SIC, poate rezista la medii extreme la temperaturi mai ridicate și este potrivit pentru procesele de temperatură ridicată în procesarea semiconductorului.

● Colţrezistență la ioni: Acoperirea CVD SIC este rezistentă la coroziunea acidă și alcalin și poate avea o durată de viață lungă în procesul de CVD.

● H înalt hrezistență la ardness și oxidare: Acoperirea CVD SIC are o duritate excelentă, rezistență la zgârieturi și rezistență la oxidare la temperaturi ridicate pentru a menține stabilitatea materialului.

● Conductivitate termică bună: Combinația dintre substratul de grafit și susceptorul de acoperire SIC CVD face ca baza să aibă o conductivitate termică excelentă, care poate efectua eficient căldura și îmbunătățește eficiența producției.

Specificații ale produsului:

● Material: substrat de grafit + acoperire CVD SIC

● Grosime de acoperire: poate fi personalizat în funcție de nevoile clienților

● Mediu aplicabil: Temperatură ridicată, vid, mediu coroziv pe gaz

Serviciu personalizat:

Oferim servicii extrem de personalizate pentru a răspunde nevoilor diferitelor echipamente și procese ale clienților. Conform aplicației specifice clientului, pot fi furnizate baze de grafit cu diferite grosimi de acoperire, tratamente de suprafață și niveluri de precizie.

Veteksemi a lucrat întotdeauna în industria de acoperire a carburilor de siliciu CVD și are nivelul de producție și fabricație de bază pentru acoperire cu baze de grafit CVD SIC, lider în industrie. Dacă aveți nevoie de mai multe informații despre produs sau servicii personalizate, vă rugăm să contactați Vetek Semiconductor, vă vom oferi din toată inima asistență profesională.

Date SEM ale structurii de cristal de film CVD SIC:

SemiconductorCVD SIC Acoring Graphite Susceptor Magazine: