Paletă de cantilever de înaltă puritate

Paddle Sic Cantilever de înaltă puritate este o componentă cheie folosită în echipamentele de procesare a semiconductorilor. Produsul este confecționat din material de carbură de siliciu de înaltă puritate (SIC).  Clienții pot alege în mod liber materialul sic sinterizat sau materialul sic recristalat. Cu ajutorul caracteristicilor sale excelente de puritate ridicată, stabilitate termică ridicată și rezistență la coroziune, este utilizat pe scară largă în procese precum transferul de placă, suport și prelucrarea la temperaturi ridicate, oferind o garanție fiabilă pentru asigurarea exactității procesului și a calității produsului.

Paddle Sic Cantilever de înaltă puritate joacă următoarele roluri specifice în procesul de procesare a semiconductorului:

Transfer de wafer: Paddle Sic Cantilever de înaltă puritate este de obicei utilizat ca dispozitiv de transfer de plafon în cuptoare de difuzie la temperatură ridicată sau de oxidare. Duritatea sa ridicată o face rezistentă la uzură și nu este ușor de deformat în timpul utilizării pe termen lung și se poate asigura că placa rămâne poziționată cu exactitate în timpul procesului de transfer. În combinație cu rezistența sa la temperatură ridicată și la coroziune, poate transfera în siguranță napolitane în și în afara tubului cuptorului în medii cu temperaturi ridicate, fără a provoca nicio contaminare sau deteriorare a napolitanelor.

Suport pentru placi: Materialul sic are un coeficient scăzut de expansiune termică, ceea ce înseamnă că dimensiunea acestuia se schimbă mai puțin atunci când temperatura se schimbă, ceea ce ajută la menținerea unui control precis în proces. În depunerea de vapori chimici (CVD) sau procesele de depunere a vaporilor fizici (PVD), paleta SIC Cantilever este utilizată pentru a sprijini și a repara placa pentru a se asigura că placa rămâne stabilă și plană în timpul procesului de depunere, îmbunătățind astfel uniformitatea și calitatea filmului.

Aplicarea proceselor de temperatură ridicată: Sic Cantilever Paddle are o stabilitate termică excelentă și poate rezista la temperaturi de până la 1600 ° C. Prin urmare, acest produs este utilizat pe scară largă în recoacere la temperaturi ridicate, oxidare, difuzie și alte procese.

Proprietăți fizice de bază ale paletei de cantilever de înaltă puritate:

Paletă de cantilever de înaltă puritatemagazine:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipului semiconductor: