Susceptitor de placă acoperită cu TAC

Vetek Semiconductor TAC Wafer acoperit este o componentă cheie folosită înDepunere de vapori chimici metalici-organici (MOCVD)reactoare pentruprocese epitaxiale semiconductoare (EPI). Această bază rotundă specializată este fabricată din grafit de înaltă calitate și este acoperită cu un strat de carbură de tantal (TAC), care este binecunoscut pentru proprietățile sale termice și chimice excepționale.

Funcția principală a acoperirii TAC este îmbunătățirea performanței și durabilității susceptorului de placă în condițiile dure ale fabricării semiconductorilor. Carbura tantalum este renumită pentru duritatea, punctul de topire ridicat și rezistența de uzură remarcabilă, ceea ce îl face stratul de protecție ideal. Această acoperire protejează baza de grafit care stă la baza reacțiilor chimice corozive și a tensiunilor mecanice care apar în interiorReactoare MOCVD, extinderea duratei de viață a echipamentului și îmbunătățind fiabilitatea.

În timpul creșterii epitaxiale a materialelor semiconductoare, susceptorul de wafer acoperit TAC joacă un rol vital prin asigurarea depunerii precise de film. Rezistența sa la temperaturi ridicate și medii chimice dure este esențială pentru producerea precisă a dispozitivelor semiconductoare, permițând echipamentului să funcționeze stabil în condiții de proces solicitante.

Combinația unuiNucleu de grafitşiAcoperire TACAsigură o distribuție uniformă a căldurii între susceptor, ceea ce este esențial pentru îmbunătățirea repetabilității și calității straturilor semiconductoare cultivate în timpul procesului MOCVD. Acest design avansat de materiale nu numai că oferă durabilitate, dar îndeplinește și cerințele stricte ale fabricării moderne de semiconductori pentru componente electronice de înaltă performanță.

În calitate de furnizor de lider și producător de susceptitori de wafer acoperiți cu TAC, Vetek Semiconductor se angajează să ofere soluții tehnice de înaltă calitate pentru industria semiconductorilor. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dvs. de încredere pe termen lung în China, oferind produse fiabile și personalizate.

Magazine susceptatoare de plafon cu semiconductor vetek: