Știri

Principala diferență între epitaxie și depunerea stratului atomic (ALD) constă în mecanismele lor de creștere a filmului și în condițiile de operare. Epitaxia se referă la procesul de creștere a unei pelicule subțiri cristaline pe un substrat cristalin cu o relație de orientare specifică, menținând aceeași structură de cristal sau similară. În schimb, ALD este o tehnică de depunere care implică expunerea unui substrat la diferiți precursori chimici în secvență pentru a forma un strat atomic de film subțire la un moment dat.

Acoperirea CVD TAC este un proces de formare a unui strat dens și durabil pe un substrat (grafit). Această metodă implică depunerea TaC pe suprafața substratului la temperaturi ridicate, rezultând o acoperire cu carbură de tantal (TaC) cu stabilitate termică excelentă și rezistență chimică.

Pe măsură ce procesul de carbură de siliciu (SiC) de 8 inchi se maturizează, producătorii accelerează trecerea de la 6 inchi la 8 inchi. Recent, ON Semiconductor și Resonac au anunțat actualizări privind producția de SiC de 8 inchi.

Acest articol prezintă cele mai recente evoluții ale noului reactor CVD cu perete fierbinte PE1O8 al companiei italiene LPE și capacitatea sa de a efectua epitaxie uniformă 4H-SiC pe SiC de 200 mm.