Care este diferența dintre CVD TAC și TAC sinterizat?

1. Ce este carbura de tantalum?

Carbura tantalum (TAC) este un compus binar compus din tantal și carbon cu formula empirică TACX, unde X variază de obicei în intervalul 0,4 până la 1. Sunt materiale ceramice refractare metalelor metalicuri foarte durite, fragile. Sunt pulberi-gri-maro, de obicei sinterizate. Ca material ceramic metalic important, carbura de tantalum este utilizată comercial pentru unelte de tăiere și este uneori adăugat în aliajele de carbură de tungsten.

Figura 1. Materiile prime cu carbură de carbură de tantal

Ceramica de carbură tantalum este o ceramică care conține șapte faze cristaline ale carburii de tantalum. Formula chimică este TAC, rețea cubică centrată pe față.

Figura 2.Carbură de tantalum - Wikipedia

Densitatea teoretică este de 1,44, punctul de topire este 3730-3830 ℃, coeficientul de expansiune termică este 8,3 × 10-6, modulul elastic este 291GPa, conductivitatea termică este de 0,22J/cm · s · c, iar vârful de topire a carabdei este în jur Această valoare este cea mai mare dintre compușii binari.

Figura 3.Chemical Vapor Deposition of Tantalum Carbide in the TaBr5&ndash

2. Cât de puternică este carbura de tantalum?

Prin testarea durității Vickers, a rezistenței la fractură și a densității relative a unei serii de probe, se poate stabili că TAC are cele mai bune proprietăți mecanice la 5,5GPa și 1300 ℃. Densitatea relativă, rezistența la fractură și duritatea Vickers a TAC sunt de 97,7%, 7,4mpam1/2 și, respectiv, 21,0gpa.

Carbură de tantalum se mai numește ceramică carbură tantală, care este un fel de material ceramic într -un sens larg;Metodele de preparare a carburii de tantalum includCVDMetoda, metoda de sinterizare, etc. În prezent, metoda CVD este mai frecvent utilizată în semiconductori, cu puritate ridicată și costuri ridicate.

3. Comparație între carbura de tantalum sinterizat și carbura de tantalumCVD

În tehnologia de prelucrare a semiconductorilor, carbura de tantalum sinterizat și depunerea de vapori chimici (CVD) Carbură tantalum sunt două metode comune pentru prepararea carburii de tantalum, care au diferențe semnificative în procesul de preparare, microstructura, performanța și aplicarea.

3.1 Procesul de pregătire

Carbură de tantal sinterizat: pulberea de carbură de tantal este sinterizată sub temperatură ridicată și presiune ridicată pentru a forma o formă. Acest proces implică densificarea pulberii, creșterea cerealelor și eliminarea impurității.

CVD Carbură de tantalum: precursorul gazous al carburii de tantal este utilizat pentru a reacționa chimic pe suprafața substratului încălzit, iar pelicula de carbură de tantalum este depusă strat. Procesul CVD are o bună capacitate de control al grosimii filmului și uniformitate a compoziției.

3.2 Microstructura

Carbură de tantal sinterizat: în general, este o structură policristalină cu dimensiuni mari de cereale și pori. Microstructura sa este afectată de factori precum temperatura de sinterizare, presiunea și caracteristicile pulberii.

CVD carbură de tantalum: este de obicei o peliculă policristalină densă, cu dimensiuni mici de cereale și poate obține o creștere extrem de orientată. Microstructura filmului este afectată de factori precum temperatura depunerii, presiunea gazului și compoziția fazei gazelor.

3.3 Diferențe de performanță

Figura 4. Diferențe de performanță între TAC sinterizat și CVD TAC

3.4 Aplicații

Carbură de tantalin sinterizată: Datorită rezistenței sale ridicate, a durității ridicate și a rezistenței la temperaturi ridicate, este utilizată pe scară largă în instrumentele de tăiere, piese rezistente la uzură, materiale structurale la temperaturi ridicate și alte câmpuri. De exemplu, carbura de tantal sinterizat poate fi utilizată pentru a fabrica unelte de tăiere, cum ar fi exerciții și tăietori de frezare pentru a îmbunătăți eficiența procesării și a calității suprafeței.

CVD carbură de tantalum: Datorită proprietăților sale de film subțire, aderenței și uniformității bune, este utilizat pe scară largă în dispozitivele electronice, materiale de acoperire, catalizatori și alte câmpuri. De exemplu, carbura CVD Tantalum poate fi utilizată ca interconectări pentru circuitele integrate, acoperirile rezistente la uzură și purtătorii de catalizatori.

--------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

În calitate de producător, furnizor și fabrică de carbură de tantalum, Vetek Semiconductor este un producător principal de materiale de acoperire cu carbură de tantalum pentru industria semiconductorilor.

Principalele noastre produse includPiese acoperite cu carbură de tantalumCVD, piese acoperite de TAC sinterizate pentru creșterea cristalului SIC sau procesele de epitaxie semiconductoare. Produsele noastre principale sunt inelele de ghidare acoperite cu carbură de tantal, inele de ghidare acoperite cu TAC, piese de jumătate de lună acoperite cu TAC, discuri rotative planetare acoperite cu carbură de tantal (Aixtron G10), cruciabile acoperite cu TAC; Inele acoperite cu TAC; Grafit poros acoperit cu TAC; Susceptitori de grafit acoperit cu carbură de tantalum; Inele de ghid acoperite cu TAC; Plăcile acoperite cu carbură de tantalum tantal; Susceptitori de wafer acoperiți cu TAC; Capace de grafit acoperite cu TAC; Blocuri acoperite cu TAC etc., cu o puritate mai mică de 5 ppm pentru a îndeplini cerințele clienților.

Figura 5. Produsele de acoperire TAC de vânzare la cald Vetek Semiconductor

Vetek Semiconductor se angajează să devină inovator în industria de acoperire a carburilor Tantalum prin cercetarea continuă și dezvoltarea tehnologiilor iterative. 

Dacă sunteți interesat de produsele TAC, vă rugăm să nu ezitați să ne contactați direct.

Mob: +86-180 6922 0752

WhatsApp: +86 180 6922 0752

E -mail: anny@veteksemi.com