Ce este acoperirea TAC TANTALUM CARBIDE? - Veteksemicon

Ce este carbura de tantalum (TAC)?

Materialul ceramic din carbură de tantalum (TAC) are un punct de topire de până la 3880 ℃ și este un compus cu punct de topire ridicat și o bună stabilitate chimică. Poate menține performanțe stabile în medii la temperaturi ridicate. În plus, are, de asemenea, o rezistență la temperatură ridicată, rezistență la coroziune chimică și o bună compatibilitate chimică și mecanică cu materialele de carbon, ceea ce îl face un material de acoperire de protecție a substratului de grafit ideal. 

Acoperire cu carbură de tantalumPoate proteja eficient componentele grafitului de efectele amoniacului fierbinte, hidrogen, vaporii de siliciu și metalul topit în medii de utilizare aspră, extinzând semnificativ durata de viață a componentelor de grafit și suprimarea migrației impurităților în grafit, asigurând calitatea calitățiiEpitaxialşiCreșterea cristalului.

Figura 1. Componente acoperite cu carbură de tantalum comună

Pregătirea acoperirii TAC prin procesul CVD

Depunerea de vapori chimici (CVD) este cea mai matură și optimă metodă pentru producerea acoperirilor TAC pe suprafețele de grafit.

Folosind TACL5 și propilenă ca surse de carbon și, respectiv, de tantal, și argon ca gaz purtător, vaporii TACL5 vaporizați la temperatură ridicată este introdus în camera de reacție. La temperatura și presiunea țintă, vaporii materialului precursor adsorbe pe suprafața grafitului, suferind o serie de reacții chimice complexe, cum ar fi descompunerea și combinația de surse de carbon și tantal, precum și o serie de reacții de suprafață, cum ar fi difuzarea și desorbția productărilor precursor. În cele din urmă, pe suprafața grafitului se formează un strat de protecție dens, care protejează grafitul de existența stabilă în condiții extreme de mediu și extinde semnificativ scenariile de aplicație ale materialelor de grafit.

Figura 2.Principiul procesului de depunere a vaporilor chimici (CVD)

Pentru mai multe informații despre principiile și procesul de pregătire a acoperirii CVD TAC, vă rugăm să consultați articolul:Cum se pregătește acoperirea CVD TAC?

De ce să alegeți Veteksemicon?

SemiconÎn principal, oferă produse din carbură de tantalum: inel de ghidare TAC, Acoperire TAC trei inel petal,Creuzet de acoperire TAC, Grafitul poros de acoperire TAC este utilizat pe scară largă este procesul de creștere a cristalului SIC; Grafit poros cu un inel de ghidare acoperit cu TAC,Transportator de placă de grafit acoperit cu TAC, Susceptitori de acoperire TAC,susceptor planetar, Iar aceste produse de acoperire a carburilor tantal sunt utilizate pe scară largă înProcesul de epitaxie sicşiProcesul de creștere a cristalului unic sic.

Figura 3.VeterinarCele mai populare produse de acoperire cu carbură de carbură de tantalum EK Semiconductor