Inel superior de epitaxie acoperit cu carbură de siliciu (SiC) CVD de 8 inchi

Caracteristici cheie ale inelului superior SiC Epi de 8 inchi

● Puritate ridicată: minim 99,9995%. Metalul nu va migra în epistratul. Acest lucru menține concentrația purtătorului de napolitană acolo unde trebuie.

● Suprimarea particulelor: Structura CVD este densă. Fara pori. Nu va elimina particule în timp ce instrumentul funcționează. Fabricile văd astfel randamente mai bune.

● Rezistenta la caldura: Inelul ramane stabil la 1500°C. CTE scăzut (expansiune termică) înseamnă că nu se deformează în timpul ciclurilor rapide de încălzire/răcire.

● Stabilitate chimică: CVD SiC solid rezistă gazelor H2 și HCl. De asemenea, rezistă la NH3. Nu are acoperire care să se dezlipească. Nu se degradează în medii dure CVD.

● Durata de viață a componentelor: Suprafața este extrem de dura. Supraviețuiește curățării chimice repetate cu HF/HCl. Acest lucru reduce frecvența de înlocuire. De asemenea, scade costul total de proprietate al fabricii.

Specificatii tehnice

Uniformitatea grosimii acoperirii între loturi este controlată la 10um

Aplicații

Inelul superior CVD SiC epi este utilizat pe scară largă în:

● Reactoare de epitaxie cu siliciu (Si Epi).

● Epitaxie cu carbură de siliciu (SiC Epi)

● Sisteme MOCVD

● Echipament de depunere CVD

De obicei asociat cu:

● Susceptori

● Purtători de napolitane

● Preîncălziți inelele

● Reactoare de epitaxie

De ce să alegeți VETEK SiC Epi Top Ring?

● Capacitate completă de producție: 

De la purificarea materiilor prime până la prelucrarea de precizie și acoperirea CVD, VETEK controlează întregul proces de producție pentru a asigura o calitate constantă a semiconductorilor.

● Precizie ridicată: 

Folosim prelucrare la nivel de microni. Grosimea CVD este foarte uniformă. Acest lucru face ca fiecare inel să funcționeze exact la fel.

FAQ

(1) Ce face inelul superior SiC epi?

Inelul gestionează fluxul de căldură și gaz. Se asigură că pelicula subțire crește uniform pe napolitana.

(2) De ce este CVD SiC mai bun decât grafitul?

Grafitul este poros. Grafitul are pori și eliberează gaz. CVD SiC solid este dens și curat. Durează mult mai mult la uneltele corozive.

(3).Poate fi personalizat inelul superior SiC de 8 inchi?

Da. Construim desenele dvs. specifice pentru unelte. Putem ajusta geometria în funcție de procesul dvs.

(4). Ce industrii folosesc inele de epitaxie SiC?

Ele sunt utilizate în principal în producția de semiconductori, inclusiv dispozitive de alimentare, dispozitive RF și producția de plachete SiC.