Ce materiale sunt utilizate în componente ceramice semiconductoare?

Ceramică de alumină (Al₂o₃) ‌

Ceramica de alumină este „calul de lucru” pentru fabricarea componentelor ceramice. Ele prezintă proprietăți mecanice excelente, puncte de topire ultra-înalte și duritate, rezistență la coroziune, stabilitate chimică puternică, rezistivitate ridicată și izolare electrică superioară. Sunt utilizate în mod obișnuit pentru fabricarea plăcilor de lustruire, a mușchilor de vid, a brațelor ceramice și a părților similare.

‌Aluminum nitrură ceramică (ALN)

Ceramica cu nitrură din aluminiu prezintă o conductivitate termică ridicată, un coeficient de expansiune termică care se potrivește cu cea a siliciului și constantă dielectrică scăzută și pierdere. Cu avantaje precum punctul de topire ridicat, duritate, conductivitate termică și izolație, acestea sunt utilizate în principal în substraturile care dizipează căldura, duzele ceramice și mucile electrostatice.

‌Yttria ceramică (y₂o₃)

Ceramica Yttria se mândrește cu un punct de topire ridicat, o stabilitate chimică și fotochimică excelentă, energie fononică scăzută, conductivitate termică ridicată și transparență bună. În industria semiconductorilor, acestea sunt adesea combinate cu ceramică de alumină - de exemplu, acoperirile Yttria sunt aplicate la ceramica de alumină pentru a produce ferestre ceramice.

‌Silicon Nitride Ceramics (Si₃n₄) ‌

Ceramica de nitrură de siliciu se caracterizează printr -un punct de topire ridicat, o duritate excepțională, stabilitate chimică, coeficient de expansiune termică scăzută, conductivitate termică ridicată și rezistență puternică a șocurilor termice. Ei mențin rezistența și rezistența la impact remarcabile sub 1200 ° C, ceea ce le face ideale pentru substraturi ceramice, cârlige purtătoare de sarcină, pini de poziționare și tuburi ceramice.

‌Silicon Carbide Ceramics (sic) ‌ ‌

Ceramica din carbură de siliciu, asemănătoare cu diamantul în proprietăți, sunt materiale ușoare, ultra-hard și de înaltă rezistență. Cu performanțe complete excepționale, rezistență la uzură și rezistență la coroziune, acestea sunt utilizate pe scară largă pe scaunele de supapă, rulmenți glisante, arzătoare, duze și schimbătoare de căldură.

‌Zirconia ceramică (zro₂) ‌

Ceramica de zirconiu oferă o rezistență mecanică ridicată, rezistență la căldură, rezistență la acid/alcalin și izolare excelentă. Pe baza conținutului de zirconiu, acestea sunt clasificate în:

• Precision Ceramics‌ (conținut care depășește 99,9%, utilizat pentru substraturi de circuit integrate și materiale izolatoare de înaltă frecvență).
• Ceramică obișnuită‌ (pentru produse ceramice cu scop general).

Caracteristici structurale aleCeramică cu semiconductor Componente

‌Dense Ceramics‌

Ceramica densă sunt utilizate pe scară largă în industria semiconductorilor. Acestea obțin densificarea prin minimizarea porilor și sunt preparate prin metode precum sinterizarea reacției, sinterizarea fără presiune, sinterizarea în fază lichidă, presarea la cald și presarea izostatică fierbinte.

‌ Ceramică poroasă

Spre deosebire de ceramica densă, ceramica poroasă conțin un volum controlat de goluri. Acestea sunt clasificate după dimensiunea porilor în ceramică microporoasă, mezoporoasă și macroporoasă. Cu densitate scăzută în vrac, structură ușoară, suprafață specifică mare, proprietăți eficiente de filtrare/izolare termică/amortizare acustică și performanțe chimice/fizice stabile, sunt utilizate pentru a produce diverse componente în echipamentele semiconductoare.