Susceptor MOCVD cu acoperire TaC

VEtek Semiconductor este un producător de lider chinezesc, furnizor și exportator specializat în susceptorul MOCVD cuAcoperire TaC. Sunteți bineveniți să veniți la fabrica noastră pentru a cumpăra cele mai recente vânzări, prețuri mici și susceptitori MOCVD de înaltă calitate cu acoperire TAC. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm cu tine.

Epitaxia LED se confruntă cu provocări, cum ar fi controlul calității cristalului, selecția și potrivirea materialelor, proiectarea structurală și optimizarea, controlul procesului și consistența și eficiența extracției luminii. Alegerea materialului de transport de placă de epitaxie potrivită este crucială, iar acoperirea acestuia cu filmul subțire de carbură de tantal (TAC) (acoperire TAC) oferă avantaje suplimentare.

Atunci când selectați un material de transport de wafer Epitaxy, trebuie să fie luați în considerare mai mulți factori cheie:

● Toleranță la temperatură și stabilitate chimică: Procesele de epitaxie LED implică temperaturi ridicate și pot implica utilizarea substanțelor chimice. Prin urmare, este necesar să alegeți materiale cu o toleranță la temperatură bună și o stabilitate chimică pentru a asigura stabilitatea purtătorului în medii chimice la temperatură ridicată.

● Flatitatea de suprafață și rezistența la uzură: Suprafața purtătorului de placă de epitaxie ar trebui să aibă o bună planeitate pentru a asigura contactul uniform și creșterea stabilă a plafonului de epitaxie. În plus, rezistența la uzură este importantă pentru a preveni deteriorarea suprafeței și abraziunea.

● Conductivitate termică: Alegerea unui material cu conductivitate termică bună ajută la disiparea eficientă a căldurii, menținând o temperatură de creștere stabilă pentru stratul de epitaxie și îmbunătățind stabilitatea și consistența procesului.

În acest sens, acoperirea purtătorului plachetei de epitaxie cu TaC oferă următoarele avantaje:

● Stabilitate la temperaturi ridicate: Acoperirea TaC prezintă o stabilitate excelentă la temperatură ridicată, permițându-i să-și mențină structura și performanța în timpul proceselor de epitaxie la temperatură înaltă și oferind o toleranță superioară la temperatură.

● Stabilitatea chimică: Acoperirea TaC este rezistentă la coroziune de la substanțele chimice și atmosfere comune, protejând purtătorul de degradarea chimică și sporind durabilitatea acestuia.

● Duritate si rezistenta la uzura: Acoperirea TaC posedă o duritate ridicată și rezistență la uzură, întărind suprafața suportului de napolitană de epitaxie, reducând deteriorarea și uzura și prelungind durata de viață a acestuia.

● Conductivitate termică: Acoperirea TAC demonstrează o conductivitate termică bună, ajutând la disiparea căldurii, menținând o temperatură de creștere stabilă pentru stratul de epitaxie și îmbunătățind stabilitatea și consistența procesului.

Prin urmare, alegerea unui purtător de wafer Epitaxy cu un acoperire TAC ajută la abordarea provocărilor epitaxiei LED, îndeplinirea cerințelor mediilor chimice cu temperaturi ridicate și chimice. Această acoperire oferă avantaje, cum ar fi stabilitatea la temperaturi ridicate, stabilitatea chimică, rezistența la duritate și uzură și conductivitatea termică, contribuind la performanța îmbunătățită, durata de viață și eficiența producției a purtătorului de placă de epitaxie.