Ce este acoperirea TAC? - Vetek Semiconductor

Acoperire TAC (Acoperire cu carbură de tantalum) este un material de acoperire de înaltă performanță produs prin procesul de depunere a vaporilor chimici (CVD). Datorită proprietăților excelente ale acoperirii TAC în condiții extreme, acesta este utilizat pe scară largă în procesul de fabricație a semiconductorilor, în special în echipamente și componente care necesită temperaturi ridicate și mediu coroziv puternic. Acoperirea TAC este de obicei utilizată pentru a proteja substraturile (cum ar fi grafitul sau ceramica) de deteriorarea la temperaturi ridicate, gaze corozive și uzură mecanică.

Proprietăți fizice ale acoperirii TAC

Caracteristici ale produsului și avantaje

● Stabilitate termică extrem de ridicată:

Descrierea caracteristicilor: Acoperirea TAC are un punct de topire de mai mult de 3880 ° C și poate menține stabilitate fără descompunere sau deformare într -un mediu extrem de ridicat la temperaturi.

Avantaj: Acest lucru îl face un material indispensabil în echipamentele semiconductoare la temperaturi înalte, cum ar fi acoperirea TAC CVD și susceptorul acoperit cu TAC, în special pentru aplicațiile din reactoarele MOCVD, cum ar fi echipamentul AIXTRON G5.

● Rezistență excelentă la coroziune:

Descrierea caracteristicilor: TAC are o inerție chimică extrem de puternică și poate rezista efectiv la eroziunea gazelor corozive, cum ar fi clorurile și fluorurile.

Avantaje: În procesele semiconductoare care implică substanțe chimice extrem de corozive, acoperirea TAC protejează componentele echipamentului împotriva atacului chimic, prelungește durata de viață a serviciului și îmbunătățește stabilitatea procesului, în special în aplicarea bărcii de placă de carbură de siliciu și a altor componente cheie.

● Duritate mecanică excelentă:

Descrierea caracteristicilor: Duritatea acoperirii TAC este de până la 9-10 MOHS, ceea ce o face rezistentă la uzura mecanică și la tensiunea la temperaturi ridicate.

Avantaj: Proprietatea cu duritate ridicată face ca acoperirea TAC să fie deosebit de potrivită pentru utilizare în medii de înaltă uzură și cu stres ridicat, asigurând stabilitatea pe termen lung și fiabilitatea echipamentelor în condiții dure.

● Reactivitate chimică scăzută:

Descrierea caracteristicilor: Datorită inerției sale chimice, acoperirea TAC poate menține o reactivitate scăzută în mediile cu temperaturi ridicate și poate evita reacțiile chimice inutile cu gazele reactive.

Avantaj: Acest lucru este deosebit de important în procesul de fabricație a semiconductorilor, deoarece asigură puritatea mediului procesului și depunerea de materiale de înaltă calitate.

Rolul acoperirii TAC în procesarea semiconductorilor

● Protejarea componentelor cheie ale echipamentelor:

Descrierea funcției: Acoperirea TAC este utilizată pe scară largă în componentele cheie ale echipamentelor de fabricație cu semiconductor, cum ar fi susceptorul acoperit TAC, care trebuie să funcționeze în condiții extreme. Prin acoperirea cu TAC, aceste componente pot funcționa pentru perioade îndelungate de timp în medii cu temperaturi ridicate și gaze corozive, fără a fi deteriorate.

● Extinderea duratei de viață a echipamentului:

Descrierea funcției: În echipamentele MOCVD, cum ar fi Aixtron G5, acoperirea TAC poate îmbunătăți semnificativ durabilitatea componentelor echipamentelor și poate reduce nevoia de întreținere și înlocuire a echipamentelor din cauza coroziunii și a uzurii.

● Îmbunătățirea stabilității procesului:

Descrierea funcției: În fabricarea semiconductorilor, acoperirea TAC asigură uniformitatea și consistența procesului de depunere prin furnizarea unui mediu chimic de temperatură ridicată și chimică. Acest lucru este deosebit de important în procesele de creștere epitaxială, cum ar fi epitaxia de siliciu și nitrura de galiu (GAN).

● Îmbunătățirea eficienței procesului:

Descrierea funcției: prin optimizarea acoperirii de pe suprafața echipamentului, acoperirea TAC poate îmbunătăți eficiența generală a procesului, reduce rata defectelor și poate crește randamentul produsului. Acest lucru este esențial pentru fabricarea de materiale semiconductoare de înaltă precizie.

Stabilitatea termică ridicată, rezistența excelentă la coroziune, duritatea mecanică și reactivitatea chimică scăzută expusă prin acoperirea TAC în timpul procesării semiconductorilor îl fac o alegere ideală pentru protejarea componentelor echipamentelor de fabricație semiconductoare. Pe măsură ce cererea industriei semiconductoare pentru procese de producție ridicate, puritate ridicată și de fabricație eficientă continuă să crească, acoperirea TAC are perspective largi de aplicare, în special în echipamente și procese care implică acoperire TAC CVD, susceptitor acoperit cu TAC și Aixtron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd este un furnizor principal de materiale de acoperire avansată pentru industria semiconductorilor. Compania noastră se concentrează pe dezvoltarea de soluții de ultimă oră pentru industrie.

Principalele noastre oferte de produse includAcoperiri cu carbură de siliciu CVD (SIC), Acoperiri cu carbură de tantalum (TAC), în vrac sic, pulberi SIC și materiale SIC de înaltă puritate, susceptitor de grafit acoperit cu SIC, inele de preîncălzire, inel de deviere acoperită cu TAC, piese de jumătate de lună etc., puritatea este sub 5 ppm, poate îndeplini cerințele clienților.

Vetek Semiconductor se concentrează pe dezvoltarea de soluții de tehnologie de ultimă oră și dezvoltare de produse pentru industria semiconductorilor.Sperăm sincer să devenim partenerul tău pe termen lung în China.