Cât știți despre CVD SIC? - Vetek Semiconductor

CVDSIC(Depunerea de vapori chimici Carbură de siliciu) este un material de carbură de siliciu de înaltă puritate fabricat prin depunerea de vapori chimici. Este utilizat în principal pentru diverse componente și acoperiri în echipamentele de procesare a semiconductorilor. CVDMaterial sicAre o stabilitate termică excelentă, duritate ridicată, coeficient de expansiune termică scăzută și rezistență excelentă la coroziune chimică, ceea ce îl face un material ideal pentru utilizare în condiții de proces extrem.

Materialul CVD SIC este utilizat pe scară largă în componente care implică temperaturi ridicate, mediu extrem de coroziv și stres mecanic ridicat în procesul de fabricație a semiconductorilor.

CVDSICComponenteIncluderea în principal a următoarelor produse

● Acoperire CVD SIC

Este utilizat ca strat de protecție pentru echipamentele de procesare a semiconductorului pentru a împiedica deteriorarea substratului de temperaturi ridicate, coroziune chimică și uzură mecanică.

● Sic Wafer Boat

Este utilizat pentru a transporta și transporta napolitane în procese de temperatură ridicată (cum ar fi difuzia și creșterea epitaxială) pentru a asigura stabilitatea napolitanelor și uniformitatea proceselor.

● Tub de proces SIC

Tuburile de proces SiC sunt utilizate în principal în cuptoarele de difuzie și cuptoarele de oxidare pentru a oferi un mediu de reacție controlat pentru napolitane de siliciu, asigurând depunerea precisă a materialelor și distribuția uniformă a dopajului.

● Sic Cantilever Paddle

Sic Cantilever Paddle este utilizat în principal pentru a transporta sau suporta napolitane de siliciu în cuptoarele de difuzie și cuptoarele de oxidare, jucând un rol de rulment. În special în procesele de temperatură ridicată, cum ar fi difuzarea, oxidarea, recoacerea etc.

● CVDSIC DUE Cap de duș

Este utilizat ca o componentă de distribuție a gazelor în echipamentele de gravură cu plasmă, cu o rezistență excelentă la coroziune și stabilitate termică pentru a asigura un efect de distribuție și gravură uniformă a gazelor.

● Plafon acoperit cu sic

Componente în camera de reacție a echipamentelor, utilizate pentru a proteja echipamentul împotriva deteriorării prin temperaturi ridicate și gaze corozive și extinderea duratei de viață a echipamentului.

● Susceptitori de epitaxie de siliciu

Transportatorii de wafer utilizați în procesele de creștere epitaxială a siliciului pentru a asigura încălzirea uniformă și calitatea de depunere a napolitanelor.

Carbură de siliciu depusă de vapori chimici (CVD SIC) are o gamă largă de aplicații în procesarea semiconductorului, utilizate în principal pentru fabricarea dispozitivelor și componentelor rezistente la temperaturi ridicate, coroziune și duritate ridicată. 

CVDSICRolul de bază se reflectă în următoarele aspecte

✔ Acoperiri de protecție în medii la temperaturi ridicate

Funcţie: CVD SIC este adesea utilizat pentru acoperirile de suprafață ale componentelor cheie în echipamentele semiconductoare (cum ar fi suceptorii, garniturile camerei de reacție etc.). Aceste componente trebuie să funcționeze în medii la temperaturi ridicate, iar acoperirile CVD SIC pot oferi o stabilitate termică excelentă pentru a proteja substratul de deteriorarea la temperaturi ridicate.

Avantaje: Punctul de topire ridicat și conductivitatea termică excelentă a CVD SIC asigură că componentele pot funcționa stabil pentru o lungă perioadă de timp în condiții de temperatură ridicată, extinzând durata de viață a echipamentului.

✔ Aplicații anti-coroziune

Funcţie: În procesul de fabricație a semiconductorilor, acoperirea CVD SIC poate rezista eficient la eroziunea gazelor și substanțelor chimice corozive și poate proteja integritatea echipamentelor și a dispozitivelor. Acest lucru este important în special pentru gestionarea gazelor extrem de corozive, cum ar fi fluorurile și clorurile.

Avantaje: Prin depunerea acoperirii CVD SIC pe suprafața componentei, deteriorarea echipamentelor și costurile de întreținere cauzate de coroziune pot fi reduse foarte mult, iar eficiența producției poate fi îmbunătățită.

✔ Aplicații rezistente la rezistență și uzură

Funcţie: Materialul CVD SIC este cunoscut pentru duritatea ridicată și rezistența mecanică ridicată. Este utilizat pe scară largă în componentele semiconductoare care necesită rezistență la uzură și o precizie ridicată, cum ar fi garniturile mecanice, componentele purtătoare de încărcare, etc. Aceste componente sunt supuse unor stres mecanic puternic și frecare în timpul funcționării. CVD SIC poate rezista eficient la aceste tensiuni și poate asigura durata de viață lungă și performanța stabilă a dispozitivului.

Avantaje: Componentele realizate din CVD SIC nu pot rezista doar la stresul mecanic în medii extreme, dar și să își mențină stabilitatea dimensională și finisarea suprafeței după utilizarea pe termen lung.

În același timp, CVD SIC joacă un rol vital înCreșterea epitaxială LED, semiconductori de putere și alte câmpuri. În procesul de fabricație a semiconductorilor, substraturile CVD SIC sunt de obicei utilizate caSusceptitori EPI. Conductivitatea termică excelentă și stabilitatea chimică fac ca straturile epitaxiale crescute să aibă o calitate și o consistență mai ridicată. În plus, CVD SIC este, de asemenea, utilizat pe scară largă înPSS Etching Carriers, Transportatori de wafer RTP, Transportatori de gravuri ICPetc., oferind un suport stabil și de încredere în timpul gravurii cu semiconductor pentru a asigura performanța dispozitivului.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd este un furnizor principal de materiale de acoperire avansată pentru industria semiconductorilor. Compania noastră se concentrează pe dezvoltarea soluțiilor de margine pentru industrie.

Principalele noastre oferte de produse includ acoperiri cu carbură de siliciu CVD (SIC), acoperiri cu carbură de tantal (TAC), sic în vrac, pulberi SIC și materiale SIC de înaltă puritate, susceptitor de grafit acoperit cu SIC, preîncălzire, inel de diversiune acoperite cu TAC, jumătate de lună, tăiere etc.

Vetek Semiconductor se concentrează pe dezvoltarea de soluții de tehnologie de ultimă oră și dezvoltare de produse pentru industria semiconductorilor.Sperăm sincer să devenim partenerul tău pe termen lung în China.