Acoperire cu carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate	Valoare tipică
Structura de cristal	FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitatea acoperirii SiC	3,21 g/cm³
Acoperire SiC Duritate	Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor	2~10μm
Puritatea chimică	99,99995%
Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de sublimare	2700℃
Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică	300W·m^-1·K^-1
Expansiune termică (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi acoperit cu carbură de siliciu Suport pentru napolitană cu acoperire SiC Capac pentru satelit acoperit cu SiC pentru MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor Acoperire CVD SiC Element de încălzire Purtător de napolitane Aixtron Satellite Receptor SiC Coating Epi Piese de grafit semilună de acoperire SiC

View as

Ald superiorul

Vetek Semiconductor este un producător de susceptitori ALD profesionist din China. Vetek a dezvoltat și produs în comun bazele planetare ALD acoperite cu SIC cu producători de sisteme ALD pentru a îndeplini cerințele ridicate ale procesului ALD. Bine ați venit consultarea.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Plafon acoperit cu CVD SIC

Plafonul acoperit cu CVD SIC Vetek Semiconductor are proprietăți excelente, cum ar fi rezistența la temperatură ridicată, rezistența la coroziune, duritatea ridicată și coeficientul de expansiune termică scăzut, ceea ce îl face o alegere a materialului ideal în fabricarea semiconductorilor. În calitate de producător și furnizor și furnizor de tavanuri acoperite cu CVD SIC din China, Vetek Semiconductor așteaptă cu nerăbdare consultarea dvs.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

MOCVD EPI Suscepter

Vetek Semiconductor este un producător profesionist de susceptitor EPI condus de MOCVD în China. Susceptorul nostru EPI LED MOCVD este conceput pentru a solicita aplicații de echipamente epitaxiale. Conductivitatea sa termică ridicată, stabilitatea chimică și durabilitatea sunt factori cheie pentru a asigura un proces de creștere epitaxială stabilă și producția de film semiconductor.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

SIC ALD Susceptor

Susceptorul ALD de acoperire SIC este o componentă de asistență utilizată în mod specific în procesul de depunere a stratului atomic (ALD). Acesta joacă un rol cheie în echipamentul ALD, asigurând uniformitatea și precizia procesului de depunere. Considerăm că produsele noastre susceptitoare planetare ALD vă pot aduce soluții de produse de înaltă calitate.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

CVD SIC Acoring Baffle

Baffle de acoperire a CVD SIC Vetek este utilizat în principal în epitaxia SI. Este de obicei utilizat cu butoaie de extensie de siliciu. Acesta combină temperatura ridicată și stabilitatea unică a defecțiunii de acoperire a CVD SIC, ceea ce îmbunătățește considerabil distribuția uniformă a fluxului de aer în fabricarea semiconductorilor. Considerăm că produsele noastre vă pot aduce tehnologie avansată și soluții de produse de înaltă calitate.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Cilindru de grafit CVD

Cilindrul de grafit CVD SIC de la Vetek Semiconductor este esențial în echipamentele semiconductoare, care servește ca un scut de protecție în reactoare pentru a proteja componentele interne în setările de temperatură ridicată și presiune. Se protejează efectiv împotriva substanțelor chimice și a căldurii extreme, păstrând integritatea echipamentelor. Cu o rezistență excepțională de uzură și coroziune, asigură longevitatea și stabilitatea în medii provocatoare. Utilizarea acestor copertine îmbunătățește performanța dispozitivului semiconductor, prelungește durata de viață și atenuează cerințele de întreținere și riscurile de daune.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de siliciu

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Ald superiorul

Plafon acoperit cu CVD SIC

MOCVD EPI Suscepter

SIC ALD Susceptor

CVD SIC Acoring Baffle

Cilindru de grafit CVD

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare