Silicon Carbide Wafer

Chuck -ul de placă din carbură de siliciu cu semiconductor Vetek folosește proprietățile excelente ale materialelor din carbură de siliciu pentru a satisface cerințele stricte ale producției de semiconductor, în special în procesarea semiconductorului care necesită o precizie și o fiabilitate extrem de ridicată.

În procesul de procesare a semiconductorilor,Carbură de siliciuare o rezistență excelentă la temperatură ridicată (poate funcționa stabil la până la 1400 ° C), conductivitate scăzută (SIC are o conductivitate relativ scăzută, de obicei 10^^-3S/m) și coeficient de expansiune termică scăzut (aproximativ 4,0 × 10^^-6/° C), care este un material indispensabil și important, în special potrivit pentru fabricarea mandrinei de placă din carbură de siliciu.

În timpulProcesul de creștere epitaxială, un strat subțire de material semiconductor este depus pe un substrat, necesitând o stabilitate absolută de la placă pentru a asigura straturi de depunere de film uniform și de înaltă calitate. SiC vid Chuck realizează acest lucru prin crearea unei țări de vid fermă și constante pentru a preveni orice mișcare sau deformare a plafonului.

Chuck -ul de placă de carbură de siliciu oferă, de asemenea, o rezistență excelentă la șocul termic. Modificările rapide ale temperaturii sunt frecvente în fabricarea semiconductorilor, iar materialele care nu pot rezista la aceste fluctuații pot crăpa, îndopa sau eșua. Carbura de siliciu are un coeficient scăzut de expansiune termică și își poate menține forma și funcția chiar și sub modificări drastice de temperatură, asigurându -se că placa rămâne sigură în timpul procesului de epitaxie fără mișcare sau aliniere necorespunzătoare.

Mai mult, Theproces de epitaxieAdesea implică gaze reactive și alte substanțe chimice corozive. INERTIA CHIMICĂ A SIC WAFER Chuck asigură că nu este afectată de aceste medii dure, menținându -și performanța și extindându -și durata de viață. Această durabilitate chimică nu numai că reduce frecvența înlocuirii mandrinei de wafer, dar asigură și performanța constantă a produsului pe mai multe cicluri de producție, contribuind la îmbunătățirea eficienței generale și a rentabilității procesului de fabricație a semiconductorilor.

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor principal de produse de napolitane din carbură de siliciu din China. Putem oferi diferite tipuri de produse Chuck, cum ar fiPoroasă SIC CEROMA, Porous sic vid Buck, Portorat poros de vidşiTAC a acoperit Chucketc. Vetek Semiconductor se angajează să ofere soluții avansate de tehnologie și produse pentru industria semiconductorilor. Sperăm sincer să devenim partenerul tău pe termen lung în China.

Date SEM de CVDStructura de cristal de film sic：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wagaz：