Acoperire cu carbură de siliciu

VeTek Semiconductor este specializată în producția de produse de acoperire cu carbură de siliciu ultra pure, aceste acoperiri sunt concepute pentru a fi aplicate pe grafit purificat, ceramică și componente metalice refractare.

Acoperirile noastre de înaltă puritate sunt destinate în primul rând utilizării în industriile semiconductoare și electronice. Acestea servesc ca un strat de protecție pentru purtătorii de plachete, susceptori și elemente de încălzire, protejându-le de mediile corozive și reactive întâlnite în procese precum MOCVD și EPI. Aceste procese sunt parte integrantă a procesării plachetelor și a fabricării dispozitivelor. În plus, acoperirile noastre sunt potrivite pentru aplicații în cuptoare cu vid și încălzire a probelor, unde se întâlnesc medii de vid înalt, reactive și oxigen.

La VeTek Semiconductor, oferim o soluție cuprinzătoare cu capabilitățile noastre avansate de atelier de mașini. Acest lucru ne permite să fabricăm componentele de bază folosind grafit, ceramică sau metale refractare și să aplicăm acoperirile ceramice SiC sau TaC în interior. Oferim, de asemenea, servicii de acoperire pentru piesele furnizate de client, asigurând flexibilitate pentru a răspunde nevoilor diverse.

Produsele noastre de acoperire cu carbură de siliciu sunt utilizate pe scară largă în epitaxie Si, epitaxie SiC, sistem MOCVD, proces RTP/RTA, proces de gravare, proces de gravare ICP/PSS, proces de diferite tipuri de LED, inclusiv LED albastru și verde, LED UV și UV adânc LED etc., care este adaptat echipamentelor de la LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI și așa mai departe.

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate	Valoare tipică
Structura de cristal	FCC policristalină în fază β, orientată în principal (111).
Densitatea acoperirii SiC	3,21 g/cm³
Acoperire SiC Duritate	Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea boabelor	2~10μm
Puritatea chimică	99,99995%
Capacitate termică	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de sublimare	2700℃
Rezistența la încovoiere	415 MPa RT în 4 puncte
Modulul Young	430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică	300W·m^-1·K^-1
Expansiune termică (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi acoperit cu carbură de siliciu Suport pentru napolitană cu acoperire SiC Capac pentru satelit acoperit cu SiC pentru MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor Acoperire CVD SiC Element de încălzire Purtător de napolitane Aixtron Satellite Receptor SiC Coating Epi Piese de grafit semilună de acoperire SiC

View as

Duză de acoperire a CVD SIC

Duzele de acoperire CVD SiC sunt componente cruciale utilizate în procesul de epitaxie LPE SiC pentru depunerea materialelor din carbură de siliciu în timpul fabricării semiconductoarelor. Aceste duze sunt de obicei realizate din material din carbură de siliciu stabil la temperatură ridicată și chimic pentru a asigura stabilitatea în medii dure de procesare. Conceput pentru depunerea uniformă, ele joacă un rol cheie în controlul calității și uniformității straturilor epitaxiale crescute în aplicațiile semiconductoare. Bun venit întrebarea dvs. ulterioară.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Protector de acoperire CVD SIC

Protector de acoperire CVD SIC Vetek Semiconductor utilizat este epitaxia LPE SIC, termenul „LPE” se referă de obicei la epitaxie de joasă presiune (LPE) în depunerea de vapori chimici de joasă presiune (LPCVD). În fabricarea semiconductorilor, LPE este o tehnologie de proces importantă pentru creșterea filmelor subțiri cu un singur cristal, adesea folosite pentru creșterea straturilor epitaxiale de siliciu sau a altor straturi epitaxiale semiconductoare.pls Nu ezitați să ne contactați pentru mai multe întrebări.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Piedestal acoperit cu sic

Vetek Semiconductor este profesionist în fabricarea acoperirii CVD SIC, acoperirea TAC pe material de grafit și carbură de siliciu. Oferim produse OEM și ODM, cum ar fi piedestal acoperit SIC, transportator de wafer, mandrină de wafer, tavă de transport de wafer, disc planetar și așa mai departe. Cu un dispozitiv de purificare curat de 1000 de grade, vă putem oferi produse cu impuritate sub 5ppm. De la tine în curând.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de intrare de acoperire sic

Vetek Semiconductor excelează în colaborarea strânsă cu clienții pentru a crea modele la comandă pentru inelul de intrare a acoperirii SiC, adaptate nevoilor specifice. Acest inel de intrare pentru acoperire cu SiC este meticulos proiectat pentru diverse aplicații, cum ar fi echipamente CVD SiC și epitaxie cu carbură de siliciu. Pentru soluții personalizate de inel de intrare pentru acoperire SiC, nu ezitați să contactați Vetek Semiconductor pentru asistență personalizată.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Inel de sprijin acoperit cu sic

VeTek Semiconductor este un producător și furnizor profesionist din China, care produce în principal inele de suport acoperite cu SiC, acoperiri cu carbură de siliciu CVD (SiC), acoperiri cu carbură de tantal (TaC). Ne angajăm să oferim suport tehnic perfect și soluții de produs de ultimă generație pentru industria semiconductoarelor, bine ați venit să ne contactați.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

Wafer Chuck

Wafer Chunk Un instrument de prindere a plafonului în procesul de semiconductor și este utilizat pe scară largă în PVD, CVD, Etch și alt proces.Vetek Semiconductor Wafer Chuck joacă roluri pivotale în producția de semiconductor, permițând o producție rapidă și de înaltă calitate. Cu fabricarea internă, prețurile competitive și suportul robust în cercetare și dezvoltare, Vetek Semiconductor excelează în serviciile OEM/ODM pentru componente de precizie.

Vezi mai mult >> Trimite o anchetă >>

În calitate de profesionist Acoperire cu carbură de siliciu producător și furnizor în China, avem propria noastră fabrică. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii personalizate pentru a răspunde nevoilor specifice ale regiunii dvs. sau doriți să cumpărați avansați și durabil Acoperire cu carbură de siliciu realizat în China, ne puteți lăsa un mesaj.

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Abordare
Drumul Wangda, strada Ziyang, județul Wuyi, orașul Jinhua, provincia Zhejiang, China

Meniul Web

Căutare produs

Limba

Ieșiți din meniu

Acoperire cu carbură de siliciu

Piese de reactor pe care le putem face:

Acoperirea cu carbură de siliciu mai multe avantaje unice:

Parametru de acoperire cu carbură de siliciu VeTek Semiconductor

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Duză de acoperire a CVD SIC

Protector de acoperire CVD SIC

Piedestal acoperit cu sic

Inel de intrare de acoperire sic

Inel de sprijin acoperit cu sic

Wafer Chuck

Trimite o anchetă

Cod QR

Despre noi

Produse

Contactaţi-ne

Telefon

Fax

E-mail

Abordare