Suport de grafit acoperit cu TAC

Sunteți bineveniți să veniți la semiconductorul nostru Vetek din fabrică pentru a cumpăra cel mai recent vânzare, preț scăzut și susceptor de grafit acoperit TAC de înaltă calitate. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm cu tine.

Materialul ceramic cu carbură de tantal punct de topire până la 3880 ℃, este un punct de topire ridicat și o bună stabilitate chimică a compusului, mediul său la temperatură ridicată poate menține încă o performanță stabilă, în plus, are și rezistență la temperatură ridicată, rezistență la coroziune chimică, substanță chimică bună și compatibilitatea mecanică cu materialele de carbon și alte caracteristici, făcându-l un material ideal de acoperire de protecție a substratului de grafit. Acoperirea cu carbură de tantal poate proteja eficient componentele din grafit de influența amoniacului fierbinte, hidrogenului și vaporilor de siliciu și a metalului topit în mediul dur de utilizare, prelungește semnificativ durata de viață a componentelor din grafit și inhibă migrarea impurităților în grafit, asigurând calitatea epitaxiei și a creșterii cristalelor. Este utilizat în principal în procesul de ceramică umedă.

Depunerea chimică în vapori (CVD) este cea mai matură și optimă metodă de preparare pentru acoperirea cu carbură de tantal pe suprafața grafitului.

Metoda de acoperire TAC CVD pentru susceptitorul de grafit acoperit cu TAC:

Procesul de acoperire folosește TACL5 și propilenă ca sursă de carbon și, respectiv, sursa de tantalum, și argon ca gaz purtător pentru a aduce vaporii de pentacloruri tantalum în camera de reacție după gazificare la temperaturi ridicate. Sub temperatura și presiunea țintă, vaporii materialului precursor este adsorbit pe suprafața părții de grafit și apar o serie de reacții chimice complexe, cum ar fi descompunerea și combinația sursei de carbon și sursa de tantalum. În același timp, sunt implicate o serie de reacții de suprafață, cum ar fi difuzarea precursorului și desorbția subproduselor. În cele din urmă, un strat de protecție dens se formează pe suprafața părții de grafit, care protejează partea de grafit de a fi stabilă în condiții extreme de mediu. Scenariile de aplicații ale materialelor de grafit sunt extindeți semnificativ.

Parametrul de produs al susceptorului de grafit acoperit cu TaC:

Magazine de producție:

Prezentare generală a lanțului industrial al epitaxiei Chip Epitaxy: