Placă de susținere a piedestalului de acoperire TAC

Vetek Semiconductor este producătorul și furnizorul din China, care produce în principal susceptitori de acoperire TAC CVD, inel de intrare, wafer chunck, suport acoperit cu TAC, placă de asistență pentru piedestale de acoperire TAC cu mulți ani de experiență. Sper să construiți relații de afaceri cu dvs.

Ceramica TAC are un punct de topire de până la 3880 ℃, duritate ridicată (Duritate Mohs 9 ~ 10), conductivitate termică mare (22W · m^-1· K.⁻¹), rezistență mare la îndoire (340 ~ 400MPa) și coeficient de expansiune termică mică (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹) și arată o stabilitate termochimică excelentă și proprietăți fizice excelente. Are o bună compatibilitate chimică și mecanică cu materiale compozite cu grafit și C/C, astfel încât acoperirea TAC este utilizată pe scară largă în protecția termică aerospațială, creșterea cu un singur cristal și reactoarele epitaxiale precum AIXTRON, REACTORUL EPI LPE în industria semiconductorilor. 

TaC coated graphite has better chemical corrosion resistance than bare stone ink or SiC coated graphite, can be used stably at 2200° high temperature, does not react with many metal elements, is the third generation of semiconductor single crystal growth, epitaxy and wafer etching scene of the best performance coating, can significantly improve the process of temperature and impurity control, Preparation of high quality silicon carbide wafers and related Napole epitaxiale. Este potrivit în special pentru creșterea Gan sau ALN unic cristal în echipamentele MOCVD și SIC unic cristal în echipamentele PVT, iar calitatea unui singur cristal cultivat este, în mod evident, îmbunătățită.