Proces de depunere a vaporilor chimici Inel de margine SID SILD

Proces CVD Inel de margine SID SILD:

● Material: Inelul de focalizare este fabricat din SIC solid, un material ceramic de înaltă puritate și de înaltă performanță. Este preparat prin depunerea de vapori chimici. Materialul SIC solid oferă o durabilitate excepțională, o rezistență la temperatură ridicată și proprietăți mecanice excelente.

●  Avantaje: Inelul CVD SIC oferă o stabilitate termică remarcabilă, menținându-și integritatea structurală chiar și în condiții de temperatură ridicată întâlnite în procesele de gravură uscată. Duritatea sa ridicată asigură rezistența la stresul și uzura mecanică, ceea ce duce la o durată de viață extinsă. Mai mult decât atât, SIC solid prezintă o inerție chimică, protejându -l de coroziune și menținându -și performanța în timp.

Acoperire CVD SIC:

●  Material: Acoperirea CVD SIC este o depunere subțire a filmului SiC folosind tehnici de depunere de vapori chimici (BCV). Acoperirea este aplicată pe un material de substrat, cum ar fi grafitul sau siliciul, pentru a oferi proprietăți SIC la suprafață.

●  Comparaţie: În timp ce acoperirile CVD SIC oferă câteva avantaje, cum ar fi depunerea conformală pe forme complexe și proprietăți de film reglabile, este posibil să nu se potrivească cu robustetea și performanța SIC solid. Grosimea acoperirii, structura cristalină și rugozitatea suprafeței pot varia în funcție de parametrii procesului CVD, care pot avea impact asupra durabilității și performanței generale a acoperirii.

În rezumat, Vetek Semiconductor Solid SIL Focusing Ring este o alegere excepțională pentru aplicațiile de gravură uscată. Materialul său solid SIC asigură o rezistență la temperatură ridicată, o duritate excelentă și o inerție chimică, ceea ce o face o soluție fiabilă și de lungă durată. În timp ce acoperirea CVD SIC oferă flexibilitate în depunere, inelul CVD SIC excelează în furnizarea de durabilitate și performanță de neegalat necesare pentru solicitarea proceselor de gravură uscată.

Proprietăți fizice ale sicului solid