Inel de focalizare a gravurii solide SIC

Vetek Semiconductor a înregistrat progrese mari în tehnologia SIC SILD CVD și este acum capabil să producă un inel de focalizare a gravurii SIC solide cu nivel mondial. Inelul de focalizare solid de gravură SIC de la Vetek Semiconductor este un produs din material de carbură de siliciu de puritate ultra-înaltă creat prin procesul de depunere a vaporilor chimici.

Inelul de focalizare solid de gravare SiC este utilizat în procesele de fabricare a semiconductorilor, în special în sistemele de gravare cu plasmă. Inelul de focalizare SiC este o componentă crucială care ajută la realizarea gravării precise și controlate a plachetelor cu carbură de siliciu (SiC).

În timpul procesului de gravare cu plasmă, inelul de focalizare joacă mai multe roluri, după cum urmează:

● Concentrarea plasmei: Inelul de focalizare a gravurii SIC solid ajută la modelarea și concentrarea plasmei în jurul plafonului, asigurându -se că procesul de gravare are loc uniform și eficient. Ajută la limitarea plasmei la zona dorită, prevenind gravarea rătăcită sau deteriorarea regiunilor din jur.

●  Protejarea zidurilor camerei: Inelul de focalizare acționează ca o barieră între plasmă și pereții camerei, prevenind contactul direct și deteriorarea potențială. SIC este foarte rezistent la eroziunea plasmatică și oferă o protecție excelentă pentru pereții camerei.

●  Tcontrolul temperaturii: Inelul de focalizare sic ajută la menținerea unei distribuții uniforme a temperaturii pe placă în timpul procesului de gravare. Ajută la disiparea căldurii și previne supraîncălzirea localizată sau gradienții termici care ar putea afecta rezultatele gravării.

SiC solid este ales pentru inelele de focalizare datorită stabilității sale termice și chimice remarcabile, rezistenței mecanice ridicate și rezistenței la eroziunea cu plasmă. Aceste proprietăți fac din SiC un material potrivit pentru condițiile dure și solicitante din interiorul sistemelor de gravare cu plasmă.

Este demn de remarcat faptul că proiectarea și specificațiile inelelor de focalizare pot varia în funcție de sistemul specific de gravură plasmatică și de cerințele procesului. Vetek Semiconductor optimizează forma, dimensiunile și caracteristicile de suprafață ale inelelor de focalizare pentru a asigura performanța optimă a gravurii și longevitatea. SOLID SIC este utilizat pe scară largă pentru transportatorii de napolitane, susceptitori, placă manechin, inele de ghidare, piese pentru proces de gravare, proces CVD etc.