Știri din industrie

În procesele semiconductoare la temperatură înaltă, manipularea, susținerea și tratarea termică a plachetelor se bazează pe o componentă specială de susținere - barca napolitană. Pe măsură ce temperaturile procesului cresc și cerințele de curățenie și control al particulelor cresc, bărcile tradiționale cu napolitană de cuarț dezvăluie treptat probleme precum durata de viață scurtă, ratele mari de deformare și rezistența scăzută la coroziune.

Pentru producția la scară industrială de substraturi cu carbură de siliciu, succesul unei singure cicluri de creștere nu este scopul final. Adevărata provocare constă în asigurarea faptului că cristalele cultivate în diferite loturi, instrumente și perioade de timp mențin un nivel ridicat de consistență și repetabilitate în calitate. În acest context, rolul acoperirii cu carbură de tantal (TaC) depășește protecția de bază – devine un factor cheie în stabilizarea fereastra de proces și în protejarea randamentului produsului.

Creșterea PVT cu carbură de siliciu (SiC) implică cicluri termice severe (temperatura camerei peste 2200 ℃). Stresul termic enorm generat între acoperire și substratul de grafit din cauza nepotrivirii coeficienților de dilatare termică (CTE) este provocarea principală care determină durata de viață a acoperirii și fiabilitatea aplicării.