De la procesul de fabricație de cupe electrostatice de aspirație până la producătorii de producție în masă

Principiul dechuck alChuck electrostaticeste o parte cheie a fluxului său de lucru care implică mecanismele de eliminare a forței electrostatice și de eliberare a napolitanei. Următoarea este o analiză detaliată:

Nucleul lui Dechuck este de a elimina sau neutraliza forța electrostatică adsorbită pe placă, iar metodele specifice includ:

YouDaoplaceholder0 a tăiat puterea

Nu mai aplicați o tensiune directă de curent electrodului pentru a elimina treptat câmpul electric.

YouDaoplaceholder0 Tensiune inversă sau injecție de gaz ‌

Unele sisteme vor aplica tensiune inversă sau vor introduce gaze inerte (cum ar fi el, n₂) pentru a accelera neutralizarea sarcinii sau separarea fizică.

Să comparăm tehnicile profesionale ale producției ESC și să vedem mai întâi dacă compania poate ajunge la o astfel de scară.

Tehnologie de analiză CAE, materiale funcționale pentru plăci, proiectare a electrodului, tehnologie de analiză, tehnologie a canalelor de răcire, tehnologie de proiectare a încălzitorului, personal senior în echipamente cu semiconductor.

Companiile japoneze și sud -coreene trebuie să fie întregi cu un astfel de personal relevant. Dacă nu, nu este nevoie să vorbim despre tehnologia companiei.

Tehnologia Chuck, electrozii, discurile și chiar principiul fluxului HE nu au fost încă clarificate. Să facem o ceașcă de aspirație electrostatică aspră. Astfel de companii sunt transmise direct. Practic, sunt folosite pentru a se reîncărca în banii investitorilor. Acesta este nivelul de bază al cunoașterii cum. De asemenea, investitorii ar trebui să renunțe la o companie care joacă cu jocuri de cărți și nu are angajați cu peste 10 ani de experiență în echipamentele de gravare, deoarece aceasta nu este o companie care face lucruri practice.

Când vine vorba de tragerea pulberii în industrie, toată lumea este în același domeniu. Fiecare are propria sa formulă unică. Care nu are puterea de a fi echipat cu suprafețe ceramice sinterizate? Investitorii pot transmite, de asemenea, aceste configurații sau companii care nu le -au înțeles pe deplin, deoarece logica lor fundamentală este aceeași: își propun să câștige bani, nu să dezvolte produse.

În ceea ce privește reparația, multe companii autohtone ar trebui să aibă capacitățile corespunzătoare pentru L1 la L3 până acum. Chiar dacă capacitățile lipsesc un pic, L1 poate încă să se descurce. Pentru L3 și de mai sus, fie nu poate fi reparată, fie poate fi subcontractat. În orice caz, există încă o modalitate de a -l repara.

Repararea L1 Repararea suprafeței, îmbunătățirea rugozității suprafeței/Îmbunătățirea planelor/Regenerarea bumpului.

Reparație L2: Repararea stratului de îmbinare, reîncărcarea bazei metalice și a discului ceramic/re-completarea stratului de îmbinare.

L3 Reparați Înlocuirea discului ceramic, fabricarea/reconstituirea discului ceramic/reconstituirea bazei metalice și a discului ceramic.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Compania deține o poziție de lider în proiectarea și producția de muchii și echipamente electrostatice interne bazate pe muchii electrostatice ca tehnologie de bază. În prezent, inovația din Haituo a obținut producția comercială de cupe electrostatice de aspirație și a finalizat livrarea de Chuck-uri electrostatice de 4 inci până la 12 inci.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Cupele electrostatice de aspirație dezvoltate independent de companie respectă standardele și procesarea relevantăCerințe ale industriei semiconductorilor. Cupele de aspirație electrostatice din aluminiu din PVD de 12 inci dezvoltate în stadiul incipient au rupt, într-o anumită măsură, monopolul pe termen lung al producătorilor străini în acest domeniu. În prezent, Huazhuo Jingke a aplicat tehnologia aferentă a cupelor electrostatice de aspirație la fabricarea produselor și a obținut producția de masă la scară mică. De asemenea, poate oferi produse personalizate pentru clienți.

Fondat în 2016, este un furnizor principal de materiale de acoperire avansată pentru industria semiconductorilor. Fondatorul nostru, fost expert din Institutul de Materiale al Academiei Chineze de Științe, a înființat compania cu accent pe dezvoltarea de soluții de ultimă oră pentru industrie.

Principalele noastre oferte de produse includ acoperiri cu carbură de siliciu CVD (SIC), acoperiri cu carbură de tantal (TAC), sic în vrac, pulberi SIC și materiale SIC de înaltă puritate. Principalele produse sunt susceptatorul de grafit acoperit cu SIC, inele de preîncălzire, inelul de deviere acoperită cu TAC, piese de jumătate de lună etc., puritatea este sub 5 ppm, poate îndeplini cerințele clienților.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

Produsele electrostatice ale cupei de aspirație dezvoltate de IT au indicatori de performanță care pot răspunde cerințelor întreprinderilor de producție de cipuri. Acestea prezintă proprietăți remarcabile, cum ar fi temperatura controlabilă, forța de adsorbție uniformă, fără zgârieturi sau riduri în timpul adsorbției și niciun efect de excludere a marginilor asupra napolitanelor. Acestea au fost certificate de întreprinderile interne din industria semiconductoarelor interne, cum ar fi Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics și North China Inovație și au obținut vânzări. A rupt monopolul producătorilor străini în acest domeniu.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

În 2022, compania a făcut mișcări strategice în domeniul componentelor ceramice de precizie, obținând localizarea unor piese de precizie extrem de tehnice, cum ar fi plăci de încălzire și muchii electrostatice. Indicatorii tehnici de bază ai plăcilor de încălzire ceramică dezvoltate de Zhongci Electronics au atins nivelul produselor internaționale similare și au fost verificați de utilizatori. Acestea au fost aplicate în loturi în echipamente cheie cu semiconductor intern. Plăcile de încălzire ceramică au fost livrate în vrac, iar muturile electrostatice au fost trimise pentru testarea eșantionului.