Susceptor de grafit acoperit cu SiC pentru ASM

Informații generale despre produs

Condiții comerciale ale produsului

✔ Aplicație: Substratul de grafit acoperit cu SiC Veteksemicon este un consumabil cheie pentru echipamentele epitaxiale din seria ASM. Susține direct placa și oferă un câmp termic uniform și stabil în timpul epitaxiei la temperaturi înalte, făcându-l o componentă de bază pentru asigurarea creșterii de înaltă calitate a materialelor semiconductoare avansate, cum ar fi GaN și SiC.

✔ Servicii care pot fi furnizate: analiza scenariului aplicatiei clientului, potrivirea materialelor, rezolvarea problemelor tehnice. 

✔ Profilul companiei：Veteksemicon are 2 laboratoare, o echipă de experți cu 20 de ani de experiență în materiale, cu capacități de cercetare și dezvoltare și producție, testare și verificare.

Parametrii tehnici

Suceptor de grafit acoperit cu Veteksemicon SiC pentru avantajele de bază ASM

1. Puritate extremă și rată scăzută a defectelor

Folosind un substrat special de grafit de înaltă puritate, cu particule fine, combinat cu procesul nostru de acoperire cu depunere chimică de vapori (CVD) strict controlat, ne asigurăm că acoperirea este densă, fără găuri și fără impurități. Acest lucru reduce semnificativ riscul de contaminare cu particule în timpul procesului epitaxial, oferind un mediu de substrat curat pentru creșterea straturilor epitaxiale de înaltă calitate.

2. Rezistență excelentă la coroziune și rezistență la uzură

Acoperirea cu carbură de siliciu pirolitică posedă duritate și inerție chimică extrem de ridicate, rezistând eficient la eroziunea surselor de siliciu (cum ar fi SiH4, SiHCl3), a surselor de carbon (cum ar fi C3H8) și a gazelor de gravare (cum ar fi HCl, H2) la temperaturi ridicate. Acest lucru extinde semnificativ ciclul de întreținere al bazei și reduce timpul de nefuncționare al mașinii cauzat de înlocuirea componentelor.

3. O uniformitate și stabilitate termică excelentă

Am optimizat distribuția câmpului termic în intervalul de temperatură de funcționare prin proiectarea precisă a structurii substratului și controlul grosimii acoperirii. Acest lucru se traduce direct în grosimi excelente și uniformitate de rezistivitate a plachetei epitaxiale, contribuind la un randament îmbunătățit de fabricare a cipurilor.

4. Rezistență excelentă de aderență a acoperirii

Tehnologia unică de pretratare a suprafeței și acoperire cu gradient permit acoperirii cu carbură de siliciu să formeze un strat de lipire puternic cu substratul de grafit, prevenind eficient decojirea, descuamarea sau crăparea stratului de acoperire care pot apărea în timpul ciclului termic pe termen lung.

5. Dimensiune precisă și replicare structurală

Avem capabilități mature de prelucrare și testare CNC, permițându-ne să reproducem complet geometria complexă, dimensiunile cavității și interfețele de montare ale bazei originale, asigurând potrivirea perfectă și funcționalitatea plug-and-play cu platforma clientului.

6. Aviz de verificare a lanțului ecologic

Suceptor de grafit acoperit cu SiC Veteksemicon pentru verificarea lanțului ecologic ASM acoperă materiile prime până la producție, a trecut certificarea standard internațională și are o serie de tehnologii brevetate pentru a-și asigura fiabilitatea și sustenabilitatea în domeniul semiconductorilor și al energiei noi.

Pentru specificații tehnice detaliate, documente albe sau modele de aranjamente de testare, vă rugăm să contactați echipa noastră de asistență tehnică pentru a explora modul în care Veteksemicon vă poate îmbunătăți eficiența procesului.

Domenii principale de aplicare

Magazin de produse Rivalul meu