Inel de preîncălzire

Inelul pre-încălzit este un echipament cheie conceput special pentru procesul epitaxial (EPI) în fabricarea semiconductorilor. Este utilizat pentru a preîncălzi napolitane înainte de procesul EPI, asigurând stabilitatea temperaturii și uniformitatea pe toată durata creșterii epitaxiale.

Fabricat de Vetek Semiconductor, inelul nostru de căldură EPI Pre oferă mai multe caracteristici și avantaje notabile. În primul rând, este construit folosind materiale de conductivitate termică ridicată, permițând transferul de căldură rapid și uniform pe suprafața plafonului. Acest lucru împiedică formarea hotspot -urilor și gradienților de temperatură, asigurând depunerea constantă și îmbunătățind calitatea și uniformitatea stratului epitaxial. În plus, inelul nostru de preîncălzire EPI este echipat cu un sistem avansat de control al temperaturii, care permite controlul precis și constant al temperaturii de preîncălzire. Acest nivel de control îmbunătățește acuratețea și repetabilitatea pașilor cruciali, cum ar fi creșterea cristalelor, depunerea materialului și reacțiile de interfață în timpul procesului EPI.

Durabilitatea și fiabilitatea sunt aspecte esențiale ale designului produsului nostru. Inelul de preîncălzire EPI este construit pentru a rezista la temperaturi ridicate și la presiuni de funcționare, menținând stabilitatea și performanța pe perioade lungi. Această abordare de proiectare reduce costurile de întreținere și înlocuire, asigurând fiabilitatea pe termen lung și eficiența operațională. Instalarea și funcționarea inelului de preîncălzire EPI sunt simple, deoarece este compatibil cu echipamentele EPI obișnuite. Dispune de un mecanism de plasare și recuperare a plachetelor ușor de utilizat, sporind confortul și eficiența operațională.

La VeTek Semiconductor, oferim și servicii de personalizare pentru a satisface cerințele specifice ale clienților. Aceasta include adaptarea dimensiunii, formei și intervalului de temperatură al inelului de preîncălzire EPI pentru a se alinia nevoilor unice de producție. Pentru cercetătorii și producătorii implicați în creșterea epitaxială și producția de dispozitive semiconductoare, inelul de căldură EPI pre -Vetek Semiconductor oferă o performanță excepțională și un suport fiabil. Acesta servește ca un instrument critic în realizarea creșterii epitaxiale de înaltă calitate și în facilitarea proceselor eficiente de fabricație a dispozitivelor semiconductoare.

Date SEM ale filmului CVD SIC