Inel de ghidare a acoperirii TaC

Vetek Semiconductor este un inel profesional de ghidare a acoperirii TAC China, creuzet de acoperire TAC, producător și furnizor de deținători de semințe.

Crucibilitatea de acoperire TAC, suportul de semințe și inelul de ghidare a acoperirii TAC în SIC și cuptorul cu un singur cristal Ain au fost cultivate prin metoda PVT.

Atunci când metoda de transport fizic al vaporilor (PVT) este utilizată pentru a prepara SiC, cristalul de sămânță se află în regiunea de temperatură relativ scăzută, iar materia primă SiC este în regiunea de temperatură relativ ridicată (peste 2400 ℃). Descompunerea materiei prime produce SiXCy (incluzând în principal Si, SiC₂, Si₂C etc.). Materialul în fază de vapori este transportat din regiunea cu temperatură înaltă la cristalul sămânță din regiunea cu temperatură scăzută și se nucleează și crește. Pentru a forma un singur cristal. Materialele de câmp termic utilizate în acest proces, cum ar fi creuzetul, inelul de ghidare a fluxului, suportul pentru cristale de semințe, ar trebui să fie rezistente la temperaturi ridicate și nu vor polua materiile prime de SiC și monocristalele de SiC. În mod similar, elementele de încălzire în creșterea monocristalelor de AlN trebuie să fie rezistente la vapori de Al, coroziune de N2 și trebuie să aibă o temperatură eutectică ridicată (și AlN) pentru a scurta perioada de preparare a cristalului.

S -a constatat că SIC și ALN preparat de materialele de câmp termic cu grafit acoperit cu TAC erau mai curate, aproape fără carbon (oxigen, azot) și alte impurități, mai puține defecte de margine, rezistivitate mai mică în fiecare regiune, iar densitatea microporelor și densitatea de gravură au fost redus semnificativ (după gravarea KOH), iar calitatea cristalului a fost mult îmbunătățită. În plus, rata de pierdere în greutate a creuzelor TAC este aproape zero, aspectul este nedistructiv, poate fi reciclat (viața de până la 200 ore), poate îmbunătăți durabilitatea și eficiența unui astfel de preparare cu un singur cristal.

Parametrul de produs al inelului de ghidare a acoperirii TaC:

Magazine de producție:

Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipurilor semiconductoare: