Partea de schimb de acoperire TAC

SemiconductorPlacă de acoperire TACeste un material special utilizat pe scară largă însemiconductorproces de fabricație. Combinată cu duritatea ridicată și rezistența la uzură, rezistența la temperatură ridicată, rezistența la coroziune, coeficientul de frecare scăzut și o conductivitate termică bună, placa de acoperire TAC joacă un rol de neînlocuit în multe legături de procesare a semiconductorului.

În general, aplicațiilePlăci acoperite cu TACÎn procesarea semiconductorilor sunt următoarele:

● Substrat de creștere CVD/ALD: Rezistența la temperatură ridicată, stabilitatea chimică și coeficientul de frecare scăzut al plăcilor acoperite cu TAC le fac substraturi ideale de creștere a BCV/ALD. Poate oferi un mediu de creștere stabil pentru a asigura uniformitatea și densitatea filmului.

●  Placă de mască de gravură: Rezistența ridicată la duritate și coroziune a plăcilor acoperite cu TAC le permite să reziste la procese cu energie mare, cum ar fi gravura cu plasmă, ca plăci de mască de gravare, protejând filmul de bază.

●  Patu de lustruire CMP: Rezistența la uzură și coeficientul de frecare scăzut al plăcilor acoperite cu TAC le fac materiale ideale pentru plăcuțele de lustruire CMP, care pot elimina eficient particulele și defectele pe suprafața filmului.

●  Tub de cuptor cu temperatură ridicată: Rezistența la temperatură ridicată și rezistența la coroziune a plăcilor acoperite cu TAC le permit să fie utilizate ca tuburi de cuptor în cuptoare cu temperaturi ridicate pentru recoacere la temperaturi ridicate, difuzie și alte procese.

Parametri tehnici de acoperire TAC CVD：

Vetek Semiconductor TAC Coating Part Partys Magazine：