Inel de grafit acoperit cu CVD TaC

Informații generale despre produs

Condiții comerciale ale produsului

Aplicație: Veteksemicon CVD TaC Coated Ring este dezvoltat special pentruProcese de creștere a cristalelor de SiC. Fiind o componentă portantă cheie în camera de reacție la temperatură înaltă, acoperirea sa unică TaC izolează eficient coroziunea vaporilor de siliciu, previne contaminarea cu impurități și asigură stabilitatea structurală pe termen lung în medii cu temperaturi ridicate, oferind o garanție de încredere pentru obținerea de cristale de înaltă calitate.

Servicii care pot fi furnizate: analiza scenariilor de aplicare a clientului, potrivirea materialelor, rezolvarea problemelor tehnice.

Profil companiee：Veteksemicon are 2 laboratoare, o echipă de experți cu 20 de ani de experiență în materiale, cu capacități de cercetare și dezvoltare și producție, testare și verificare.

Rivalul meu CVD TaC Coated Ring este un consumabil de miez proiectat pentru depunerea de vapori chimici la temperaturi înalte și creșterea cristalelor de materiale semiconductoare avansate, în special carbură de siliciu. Utilizăm o tehnologie unică, optimizată, de depunere chimică a vaporilor pentru a depune un dens, uniformacoperire cu carbură de tantalpe un substrat de grafit de înaltă puritate. Cu o rezistență excepțională la temperatură ridicată, o rezistență excelentă la coroziune și o durată de viață extrem de lungă, acest produs protejează eficient calitatea cristalului și reduce semnificativ costurile totale de producție, făcându-l o alegere esențială pentru procesele care necesită stabilitatea procesului și cel mai mare randament.

Parametri tehnici:

Avantajele de bază Veteksemicon CVD TaC Coated Ring

Puritate și stabilitate de neegalat

În mediul extrem de creștere a cristalelor de SiC, unde temperaturile depășesc 2000°C, chiar și urmele de impurități pot distruge proprietățile electrice ale întregului cristal. NoastreAcoperire CVD TaC, cu puritatea sa excepțională, elimină fundamental contaminarea din inel. În plus, stabilitatea sa excelentă la temperatură înaltă asigură că stratul de acoperire nu se va descompune, nu se va volatiliza sau nu se va reacționa cu gazele de proces în timpul ciclului prelungit de temperatură înaltă și termică, oferind un mediu pur și stabil în fază de vapori pentru creșterea cristalelor.

Coroziune excelentă șirezistenta la eroziune

Coroziunea grafitului cu vaporii de siliciu este cauza principală a defecțiunii și a contaminării cu particule în inelele tradiționale de grafit. Acoperirea noastră TaC, cu reactivitatea sa chimică extrem de scăzută cu siliciul, blochează eficient vaporii de siliciu, protejând substratul de grafit subiacent de eroziune. Acest lucru nu numai că prelungește semnificativ durata de viață a inelului în sine, dar, mai important, reduce în mod semnificativ particulele generate de coroziunea substratului și dezlănțuirea, îmbunătățind direct randamentul de creștere a cristalului și calitatea internă.

Performanță mecanică și durată de viață superbe

Învelișul TaC format prin procesul CVD are o densitate extrem de mare și duritate Vickers, făcându-l extrem de rezistent la uzură și impact fizic. În aplicațiile practice, produsele noastre pot prelungi durata de viață de 3 până la 8 ori în comparație cu inelele tradiționale din grafit sau cu inelele acoperite cu carbon pirolitic/carbură de siliciu. Acest lucru înseamnă mai puțin timp de nefuncționare pentru înlocuire și o utilizare mai mare a echipamentului, reducând semnificativ costul total al producției de monocristal.

Calitate excelentă a acoperirii

Performanța unei acoperiri depinde în mare măsură de uniformitatea și rezistența sa de lipire. Procesul nostru CVD optimizat ne permite să obținem o grosime foarte uniformă de acoperire chiar și pe cele mai complexe geometrii inelare. Mai important, acoperirea formează o legătură metalurgică puternică cu substratul de grafit de înaltă puritate, prevenind eficient decojirea, crăparea sau descuamarea cauzate de diferențele de coeficienți de dilatare termică în timpul ciclurilor rapide de încălzire și răcire, asigurând o performanță fiabilă continuă pe tot parcursul ciclului de viață al produsului.

Aviz de verificare a lanțului ecologic

Verificarea lanțului ecologic Veteksemicon CVD TaC Coated Ring acoperă materiile prime până la producție, a trecut de certificare standard internațională și are o serie de tehnologii brevetate pentru a-și asigura fiabilitatea și sustenabilitatea în domeniul semiconductorilor și al energiei noi.

Pentru specificații tehnice detaliate, documente albe sau aranjamente de testare eșantion, vă rugămcontactați echipa noastră de asistență tehnicăpentru a explora modul în care Veteksemicon vă poate îmbunătăți eficiența procesului.