Produse
Transportator de placă de grafit acoperit cu TAC
  • Transportator de placă de grafit acoperit cu TACTransportator de placă de grafit acoperit cu TAC
  • Transportator de placă de grafit acoperit cu TACTransportator de placă de grafit acoperit cu TAC

Transportator de placă de grafit acoperit cu TAC

VeTek Semiconductor a proiectat cu atenție suportul pentru napolitane de grafit acoperit cu TaC pentru clienți. Este compus din grafit de înaltă puritate și acoperire TaC, care este potrivită pentru diferite procesări de napolitane epitaxiale. De mulți ani suntem specializați în acoperirea cu SiC și TaC. În comparație cu acoperirea SiC, suportul nostru de napolitană de grafit acoperit cu TaC are o rezistență mai mare la temperatură și rezistent la uzură. Așteptăm cu nerăbdare să devenim partenerul dumneavoastră pe termen lung în China.

Puteți fi sigur să cumpărați transportator de plafon de grafit acoperit TAC personalizat de la Vetek Semiconductor. Așteptăm cu nerăbdare să cooperăm cu dvs., dacă doriți să aflați mai multe, ne puteți consulta acum, vă vom răspunde la timp!

VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier interacționează direct cu plachetele din reactorul de epitaxie, sporind eficiența și performanța. Cu opțiunea de acoperire cu carbură de siliciu sau carbură de tantal, VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier oferă o durată de viață extinsă, de până la 2-3 ori mai lungă cu carbură de tantal. Compatibil cu diverse modele de mașini, inclusiv cuptoare epitaxiale LPE SiC, cuptoare epitaxiale JSG, NASO.

Purtătorul de grafit acoperit cu semiconductor Vetek TAC asigură o reacție precisă stoechiometrie, previne migrația impurității și menține stabilitatea temperaturii peste 2000 ° C. Prezintă o rezistență remarcabilă la H2, NH3, SIH4 și SI, protejând împotriva mediilor chimice dure. Rezistent la șocuri termice, permite cicluri operaționale rapide fără a acoperi delaminarea.

Acoperirea TAC cu semiconductor Vetek garantează puritatea ultra-înaltă, elimină impuritățile și asigură acoperirea conformală care îndeplinește toleranțe dimensionale stricte. Cu capacitățile avansate de procesare a grafitului Vetek Semiconductor, suntem echipați pentru a răspunde nevoilor dvs. de personalizare. Indiferent dacă aveți nevoie de servicii de acoperire sau soluții cuprinzătoare, echipa noastră de ingineri experți este gata să proiecteze soluția perfectă pentru aplicațiile dvs. specifice. Ai încredere în noi pentru a furniza produse de înaltă calitate adaptate cerințelor și așteptărilor tale.


Metoda PVT SiC Crystal Growth:

PVT method SiC Crystal Growth


Parametrul produsului transportatorului de placă de grafit acoperit TAC

Proprietățile fizice ale acoperirii cu TaC
Densitate 14,3 (g/cm³)
Emisivitate specifică 0.3
Coeficient de expansiune termică 6.3 10-6/K.
Duritate (HK) 2000 HK
Rezistenţă 1 × 10-5Ohm*cm
Stabilitate termică <2500℃
Dimensiunea grafitului se modifică -10 ~ -20um
Grosimea acoperirii ≥20um Valoare tipică (35um ± 10um)


Magazin de producție VeTek Semiconductor:

VeTek Semiconductor Production Shop


Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipurilor semiconductoare:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Suport pentru napolitană de grafit acoperit cu TaC
Trimite o anchetă
Informatii de contact
Pentru întrebări despre acoperirea cu carbură de siliciu, acoperirea cu carbură de tantal, grafit special sau lista de prețuri, vă rugăm să ne lăsați e-mailul și vă vom contacta în termen de 24 de ore.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept