Inel acoperit cu carbură tantal

Vetek Semiconductor Tantalum Inel acoperit cu carbură este conceput dingrafitși acoperit cu carbură de tantalum, o combinație care folosește cele mai bune proprietăți ale ambelor materiale pentru a asigura performanțe și longevitate superioare. 

Acoperirea TAC de pe inelul de acoperire a carburii de tantalu asigură că rămâne inert chimic în atmosfera reactivă a cuptoarelor de creștere a cristalului SIC, care implică adesea gaze precum hidrogen, argon și azot. Această inerție chimică este vitală pentru a preveni orice contaminare a cristalului în creștere, ceea ce ar putea duce la defecte și la performanța redusă a produselor semiconductoare finale. În plus, stabilitatea termică oferită de acoperirea TAC permite inelului de acoperire a carburii de tantalum să funcționeze eficient la temperaturile ridicate necesare pentru creșterea cristalului SIC, depășind de obicei 2000 ° C.

Acoperirea TAC densă și uniformă poate fi preparată pe suprafața grafitului prin pulverizarea cu plasmă, metoda CVD și metoda de sinterizare a suspensiei, dar metoda de pulverizare cu plasmă are cerințe ridicate ale echipamentului și formarea TA2C. Este dificil să preparați acoperirea compozită prin metoda de sinterizare a suspensiei, iar rezistența la șoc termică a acoperirii este slabă. Acoperirea preparată prin metoda CVD are o compoziție controlabilă și cea mai mare densitate, care este o metodă comună de acoperire a carburii de tantal în prezent.

Proprietățile mecanice ale TAC reduc foarte mult uzura pe inelul de acoperire a carburii de tantal. Acest lucru este crucial datorită naturii repetitive a procesului de creștere a cristalului, care expune inelul de ghidare la cicluri termice frecvente și tensiuni mecanice. Duritatea și rezistența la uzură a TAC se asigură că inelul acoperit cu TAC își menține integritatea structurală și dimensiunile precise pe perioade lungi, minimizând nevoia de înlocuire frecventă și reducând timpul de oprire în procesul de fabricație. 

Densitatea în vrac a acoperirii cu carbură de tantal este de 14,3gm/cm3, emisivitate 0,3, duritatea este de 2000HK, punctul de topire este 3950s ℃ și proprietățile fizice bune au fost selectate ca material comun pentru a treia generație de semiconductori.

În plus, combinația de grafit și TAC în inelul de acoperire a carburii de tantalum optimizează gestionarea termică în cadrul cuptorului de creștere a cristalului. Conductivitatea termică ridicată a grafitului distribuie eficient căldura, împiedicând punctele de puncte și promovând creșterea uniformă a cristalului. Între timp, acoperirea TAC servește ca o barieră termică, protejând miezul de grafit de expunerea directă la temperaturi ridicate și gaze reactive. Această sinergie între materialele de bază și de acoperire are ca rezultat un inel de ghidare care nu numai că rezistă la condițiile dure aleCreșterea cristalului SICDar, de asemenea, îmbunătățește eficiența generală și calitatea procesului.

Inelul acoperit cu carbură de carbură cu semiconductor vetek este o componentă esențială în industria semiconductorilor, special concepută pentru creșterea a creșteriiCristale de carbură de siliciu. Designul său valorifică punctele forte ale carburii de grafit și tantal pentru a oferi performanțe excepționale în medii cu stres cu temperaturi ridicate. Acoperirea TAC asigură inerția chimică, durabilitatea mecanică și stabilitatea termică, toate fiind esențiale pentru producerea de cristale SIC de înaltă calitate. Prin menținerea integrității și funcționalității sale în condiții extreme, inelul susține creșterea eficientă și fără defecte a cristalelor SIC, contribuind la avansarea dispozitivelor semiconductoare de înaltă putere și de înaltă frecvență.

Vetek Semiconductor este un producător și furnizor principal deAcoperire cu carbură de tantalum, Acoperire cu carbură de siliciuşiGrafit specialîn China. Ne-am angajat de mult timp să oferim soluții avansate de tehnologie și produse pentru industria semiconductorilor și sperăm sincer să fii partenerul tău pe termen lung în China.

Acoperire cu carbură de tantalum (TAC)pe o secțiune transversală microscopică：

Prezentare generală alanțul industriei epitaxiei cu cipuri cu semiconductor：