Piese pentru receptor EPI

Informații generale despre produs

Condiții comerciale ale produsului

✔ Aplicație: În căutarea performanței și randamentului suprem în procesele epitaxiale SiC, Veteksemicon EPI Susceptor oferă stabilitate termică și uniformitate excelente, devenind un suport cheie pentru îmbunătățirea performanței dispozitivelor de putere și RF și reducerea costurilor totale.

✔ Servicii care pot fi furnizate: analiza scenariului aplicatiei clientului, potrivirea materialelor, rezolvarea problemelor tehnice. 

✔ Profilul Companiei：Veteksemicon are 2 laboratoare, o echipă de experți cu 20 de ani de experiență în materiale, cu capacități de cercetare și dezvoltare și producție, testare și verificare.

Avantajele principale ale piesei Veteksemicon EPI Contractor

1. Asigurați uniformitatea maximă

În procesele epitaxiale cu carbură de siliciu, chiar și fluctuațiile de grosime la nivel de microni și neomogenitățile de dopaj influențează direct performanța și randamentul dispozitivului final. Veteksemicon EPI Susceptor realizează o distribuție optimă a câmpului termic în camera de reacție prin simulare termodinamică precisă și proiectare structurală. Selecția noastră a unui substrat cu conductivitate termică ridicată, combinată cu un proces unic de tratare a suprafeței, asigură că diferențele de temperatură în orice punct de pe suprafața plachetei sunt controlate într-un interval extrem de mic, chiar și în condiții de rotație de mare viteză și medii cu temperaturi ridicate. Valoarea directă pe care o aduce aceasta este un strat epitaxial foarte reproductibil, lot la lot, cu o uniformitate excelentă, punând o bază solidă pentru fabricarea de cipuri de putere de înaltă performanță, foarte consistente.

2. Rezistența provocării temperaturilor ridicate

Procesele epitaxiale SiC necesită de obicei o funcționare prelungită la temperaturi care depășesc 1500°C, ceea ce reprezintă o provocare severă pentru orice material. Veteksemicon Susceptor utilizează grafit presat izostatic tratat special, a cărui rezistență la încovoiere la temperaturi ridicate și rezistență la fluaj le depășesc cu mult pe cele ale grafitului obișnuit. Chiar și după sute de ore de ciclu termic continuu la temperatură înaltă, produsul nostru își menține geometria și rezistența mecanică inițială, prevenind eficient deformarea plachetelor, alunecarea sau riscurile de contaminare a cavității procesului cauzate de deformarea tăvii, asigurând în mod fundamental continuitatea și siguranța activităților de producție.

3. Maximizați stabilitatea procesului

Întreruperile producției și întreținerea neplanificată sunt ucigașe majore ale costurilor în producția de napolitane. Veteksemicon consideră stabilitatea procesului o măsură de bază pentru Susceptor. Învelișul nostru patentat CVD SiC este dens, neporos și are o suprafață netedă ca o oglindă. Acest lucru nu numai că reduce semnificativ scurgerea particulelor sub fluxul de aer la temperatură înaltă, dar și încetinește semnificativ aderența produselor secundare de reacție (cum ar fi SiC policristalin) la suprafața tăvii. Aceasta înseamnă că camera dvs. de reacție poate rămâne curată pentru perioade mai lungi, extinzând intervalele dintre curățarea și întreținerea regulată, îmbunătățind astfel utilizarea generală a echipamentului și debitul.

4. Prelungiți durata de viață

Ca componentă consumabilă, frecvența de înlocuire a susceptorilor are un impact direct asupra costurilor de operare de producție. Veteksemicon prelungește durata de viață a produsului printr-o abordare tehnologică dublă: „optimizarea substratului” și „îmbunătățirea acoperirii”. Un substrat de grafit de înaltă densitate și porozitate scăzută încetinește în mod eficient penetrarea și coroziunea substratului de către gazele de proces; simultan, stratul nostru gros și uniform de SiC acționează ca o barieră robustă, suprimând semnificativ sublimarea la temperaturi ridicate. Testele din lumea reală arată că, în aceleași condiții de proces, susceptorii Veteksemicon prezintă o rată mai lentă de degradare a performanței și o durată de viață eficientă mai lungă, ceea ce duce la costuri de operare mai mici pe placă.

5. Aviz de verificare a lanțului ecologic

Verificarea lanțului ecologic Veteksemicon EPI Susceptor Part acoperă materiile prime până la producție, a trecut certificarea standard internațională și are o serie de tehnologii brevetate pentru a-și asigura fiabilitatea și sustenabilitatea în domeniul semiconductorilor și al energiei noi.

Pentru specificații tehnice detaliate, documente albe sau modele de aranjamente de testare, vă rugăm să contactați echipa noastră de asistență tehnică pentru a explora modul în care Veteksemicon vă poate îmbunătăți eficiența procesului.

Domenii principale de aplicare

Depozitul de produse Rivalul meu