Produse
Susceptor pentru clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6''
  • Susceptor pentru clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6''Susceptor pentru clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6''
  • Susceptor pentru clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6''Susceptor pentru clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6''

Susceptor pentru clătite acoperit cu SiC pentru napolitane LPE PE3061S 6''

Susceptor de clătite acoperite cu SIC pentru WPE PE3061S 6 '' Wafers este unul dintre componentele de bază utilizate în procesarea waferului epitaxial de 6 '' wafers. Vetek Semiconductor este în prezent un producător și furnizor principal de susceptitori de clătite acoperite cu SIC pentru LPE PE3061S 6 '' Wafers din China. Susceptorul de clătite acoperit SIC pe care îl oferă are caracteristici excelente, cum ar fi rezistența ridicată la coroziune, o conductivitate termică bună și o uniformitate bună. Aștept cu nerăbdare întrebarea dvs.

În calitate de producător profesionist, VeTek Semiconductor ar dori să vă ofere un susceptor de clătite acoperit cu SiC de înaltă calitate pentru napolitane LPE PE3061S 6''.

Susceptatorul de clătite acoperit cu semiconductor vetek SIC pentru napolitane LPE PE3061S 6 "este un echipament critic utilizat în procesele de fabricație a semiconductorilor.


Susceptor de clătite acoperite cu SIC pentru LPE PE3061S 6 "WAFERS Caracteristici ale produsului:

Stabilitate la temperatură ridicată: SiC prezintă o stabilitate excelentă la temperatură ridicată, menținându-și structura și performanța în medii cu temperatură înaltă.

Conductivitate termică remarcabilă: SIC are o conductivitate termică excepțională, permițând un transfer de căldură rapid și uniform pentru încălzire rapidă și chiar.

Rezistență la coroziune: SiC posedă o stabilitate chimică excelentă, rezistând la coroziune și oxidare în diferite medii de încălzire.

Distribuție uniformă a încălzirii: purtătorul de wafer acoperit cu SIC asigură o distribuție uniformă a încălzirii, asigurând chiar temperatura pe suprafața plafonului în timpul încălzirii.

Potrivit pentru producția de semiconductori: purtătorul de plachete cu epitaxie Si este utilizat pe scară largă în procesele de fabricare a semiconductoarelor, în special pentru creșterea epitaxiei Si și alte procese de încălzire la temperatură înaltă.


Avantajele produsului:

Eficiența de producție îmbunătățită: susceptorul de clătite acoperit cu SIC permite încălzirea rapidă și uniformă, reducerea timpului de încălzire și îmbunătățirea eficienței producției.

Calitatea produsului asigurată: Distribuția uniformă a încălzirii asigură consistența în timpul procesării plafonului, ceea ce duce la îmbunătățirea calității produsului.

Durată de viață extinsă a echipamentului: materialul SiC oferă o rezistență excelentă la căldură și stabilitate chimică, contribuind la o durată de viață mai lungă a susceptorului de clătite.

Soluții personalizate: Susceptor acoperit cu Si, transportator de wafer Epitaxy SI poate fi adaptat la diferite dimensiuni și specificații bazate pe cerințele clienților.


cvd-sic-coating-film-crystal-structure


Proprietăți fizice de bază ale acoperirii CVD SIC:

Proprietățile fizice de bază ale acoperirii CVD SiC
Proprietate Valoare tipică
Structura de cristal Policristalin de fază FCC β, în principal (111) orientat orientat
Densitate 3.21 g/cm³
Duritate Duritate 2500 Vickers (încărcare 500g)
Dimensiunea bobului 2 ~ 10mm
Puritatea chimică 99,99995%
Capacitate de căldură 640 J·kg-1· K.-1
Temperatura de sublimare 2700 ℃
Rezistența la încovoiere 415 MPa RT în 4 puncte
Modulul lui Young 430 Gpa 4 pt îndoire, 1300 ℃
Conductivitate termică 300 W·m-1· K.-1
Extinderea termică (CTE) 4,5×10-6K-1


Semiconductor dealer

VeTek Semiconductor Production Shop


Prezentare generală a lanțului industriei de epitaxie a cipurilor semiconductoare:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Susceptor de clătite acoperite SIC pentru LPE PE3061S 6 '' Wafers
Trimite o anchetă
Informatii de contact
Pentru întrebări despre acoperirea cu carbură de siliciu, acoperirea cu carbură de tantal, grafit special sau lista de prețuri, vă rugăm să ne lăsați e-mailul și vă vom contacta în termen de 24 de ore.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept