Susceptor acoperit cu MOCVD SiC

Parametrii tehnici

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Definiția și compoziția produsului

Susceptorul acoperit cu SiC VETEK MOCVD este o componentă premium care transportă plachete, concepută special pentru procesarea epitaxială a semiconductorilor de a treia generație, cum ar fi GaN și SiC. Acest produs integrează proprietățile fizice superioare ale a două materiale de înaltă performanță:

Substrat de grafit de înaltă puritate: Fabricat folosind tehnologia de presare izostatică pentru a se asigura că materialul de bază posedă integritate structurală excepțională, densitate ridicată și stabilitate la procesare termică.

Acoperire CVD SiC: Un strat protector dens, fără stres de carbură de siliciu (SiC) este crescut pe suprafața de grafit prin tehnologia avansată de depunere în vapori chimici (CVD).

De ce VETEK este garanția dvs. de randament

Precizie supremă în controlul uniformității termice: Spre deosebire de purtătorii convenționali, susceptorii VETEK realizează un transfer de căldură foarte sincronizat pe întreaga suprafață prin controlul de precizie la scară nanometrică a grosimii stratului de acoperire și a rezistenței termice. Acest management termic sofisticat minimizează în mod eficient deviația standard a lungimii de undă (STD) pe suprafața plachetei, sporind semnificativ atât calitatea unei singure plăci, cât și consistența generală a lotului.

Protecție pe termen lung cu contaminare cu particule zero: În camerele de reacție MOCVD care conțin gaze foarte corozive, piedestalurile obișnuite din grafit sunt predispuse la descuamarea particulelor. Acoperirea CVD SiC de la VETEK posedă o inerție chimică excepțională, acționând ca un scut impenetrabil care etanșează microporii de grafit. Acest lucru asigură izolarea totală a impurităților substratului, prevenind orice contaminare a straturilor epitaxiale de GaN sau SiC.

Rezistență excepțională la oboseală și durată de viață:Datorită procesului de tratare a interfeței proprietarului VETEK, acoperirea noastră SiC realizează o potrivire optimizată a expansiunii termice cu substratul de grafit. Chiar și sub cicluri termice de înaltă frecvență între temperaturi extreme, acoperirea menține o aderență superioară fără a se decoji sau a dezvolta micro-fisuri. Acest lucru reduce semnificativ frecvența întreținerii pieselor de schimb și reduce costul total de proprietate.

Atelierul nostru