Ce este un Chuck Electrostatic (ESC)?

Chuck-ul electrostatic (ESC), cunoscut și sub numele de Electrostatic Chuck (ESC, E-Chuck), este un corp care folosește principiul adsorbției electrostatice pentru a reține și a repara materialul adsorbit. Este potrivit pentru medii de vid și plasmă. Funcția sa principală este de a adsorb ultra-Curățați foile subțiri (cum ar fi napolitane de siliciu) și mențineți materialul adsorbit într -o bună planeitate, care poate inhiba, de asemenea, deformarea materialului adsorbit în timpul procesului și poate regla temperatura adsorbatului.

Un much electrostatic (ESC) este un tip special de mandat care folosește forța electrostatică pentru a ține, apăsa și ridica obiecte (piese de lucru). Orice material poartă sarcini pozitive și negative care sunt invizibile cu ochiul liber. Când materialul este plasat pe ESC și se aplică o tensiune bipolară pe electrozii interni ai ESC, sarcinile pozitive și negative se vor deplasa în material pentru a se potrivi cu polaritatea electrozilor interni ai ESC. Această atracție între ESC și material se numește forță electrostatică și este, de asemenea, principiul fundamental din spatele mucilor noastre.

Avantaje de produs

Are o gamă largă de temperatură de funcționare (-50 până la 700 ℃)

Aceste cupe electrostatice de aspirație prezintă o rezistență excelentă, conductivitate termică și rezistență la șoc termic și se pot adapta la o gamă largă de temperatură prin controlul de rezistență a volumului ceramic al NGK.

Rezistență ridicată la coroziune

Aceste cupe de aspirație electrostatică au o rezistență excelentă la coroziune la gaze halogene.

Procesare cu partide reduse

Tratamentul cu particule scăzute poate fi obținut prin tratamentul la suprafață și curățarea specială

Puritate mare

Sunt disponibile și produse cu o puritate de 99,9% sau mai mare.

Funcția de încălzire

Tehnologia de încorporare a elementelor de încălzire de înaltă precizie poate fi integrată cu funcția de încălzire, iar temperatura plafonului poate fi controlată în ± 1%.

Funcție de răcire

Aceste cupe electrostatice de aspirație au performanțe de răcire extrem de mari prin legarea plăcilor ceramice cu conductivitate termică ridicată și plăci de răcire.

Electrod de frecvență radio

Electrozii metalici în vrac pot furniza simultan prindere stabilă a plafonului și generare de plasmă cu frecvență radio.

Parameter

1.În domeniul producției semiconductoare și electronice: în timpul proceselor de fabricație cu semiconductor și electronică, cupele de aspirație electrostatice sunt utilizate pentru a repara și gestiona napolitane subțiri și fragile de siliciu, napolitane, etc.

2. Industria sticlei și a ceramicii: În timpul proceselor de tăiere, măcinare și manipulare a sticlei și a ceramicii, cupele de aspirație electrostatice pot efectua operațiuni nedistructive pe materiale fragile, reducând rata de rupere a produsului.

3. Fabricarea utilajelor de precizie și a componentelor optice: pentru utilaje de precizie și componente optice, cupele de aspirație electrostatice pot oferi o forță de adsorbție stabilă, prevenind deformarea sau zgârieturile în timpul procesării.

4. Liniile de producție automate: În liniile de producție automate, cupele de aspirație electrostatice sunt utilizate pe scară largă în poziționarea, manipularea și asamblarea pieselor etc., sporind gradul de automatizare și eficiență a liniei de producție.