Știri

Tehnologia de gravură la fabricarea semiconductorilor întâlnește adesea probleme precum efectul de încărcare, efectul micro-până la efect și efectul de încărcare, care afectează calitatea produsului. Soluțiile de îmbunătățire includ optimizarea densității plasmatice, reglarea compoziției gazelor de reacție, îmbunătățirea eficienței sistemului de vid, proiectarea aspectului rezonabil de litografie și selectarea materialelor de mască de gravare adecvate și a condițiilor de proces.

Sinteringul de presare la cald este principala metodă pentru pregătirea ceramicii SIC de înaltă performanță. Procesul de sinterizare de presare la cald include: selectarea pulberii SIC de înaltă puritate, presarea și modelarea la temperaturi ridicate și presiune ridicată, apoi sinterizare. Ceramica SIC pregătită prin această metodă au avantajele purității ridicate și ale densității ridicate și sunt utilizate pe scară largă în discurile de măcinare și echipamentele de tratare termică pentru procesarea waferului.

Metodele cheie de creștere ale carburei de siliciu (SiC) includ PVT, TSSG și HTCVD, fiecare cu avantaje și provocări distincte. Materialele de câmp termic pe bază de carbon, cum ar fi sistemele de izolare, creuzetele, acoperirile TaC și grafitul poros îmbunătățesc creșterea cristalelor, oferind stabilitate, conductivitate termică și puritate, esențiale pentru fabricarea și aplicarea precisă a SiC.

SiC are duritate mare, conductivitate termică și rezistență la coroziune, ceea ce îl face ideal pentru fabricarea semiconductoarelor. Acoperirea CVD SiC este creată prin depunere chimică de vapori, oferind o conductivitate termică ridicată, stabilitate chimică și o constantă de rețea potrivită pentru creșterea epitaxială. Expansiunea sa termică scăzută și duritatea ridicată asigură durabilitate și precizie, făcându-l esențial în aplicații precum suporturile de napolitană, inelele de preîncălzire și multe altele. VeTek Semiconductor este specializat în acoperiri SiC personalizate pentru diverse nevoi ale industriei.

Carbura de siliciu (SIC) este un material semiconductor de înaltă precizie cunoscut pentru proprietățile sale excelente, cum ar fi rezistența la temperatură ridicată, rezistența la coroziune și rezistența mecanică ridicată. Are peste 200 de structuri cristaline, 3C-SIC fiind singurul tip cubic, oferind o sfericitate naturală și densificare superioară în comparație cu alte tipuri. 3C-SIC se remarcă pentru mobilitatea sa ridicată de electroni, ceea ce o face ideală pentru MOSFET-uri în electronice de putere. În plus, prezintă un potențial mare în nanoelectronică, LED -uri albastre și senzori.

Diamond, un potențial „semiconductor final” din a patra generație, câștigă atenție în substraturile semiconductoare datorită durității sale excepționale, a conductivității termice și a proprietăților electrice. În timp ce provocările sale ridicate de costuri și producție își limitează utilizarea, CVD este metoda preferată. În ciuda provocărilor de cristal dopaj și cu o zonă mare, Diamond are promisiuni.