Ce este o barcă de grafit Pecvd?

Ⅰ. Care este materialul bărcii de grafit Pecvd?

Materialul principal alBarca de grafit Pecvd(Barca de grafit a grafitului cu vapori chimici îmbunătățiți cu plasmă) este confecționată din puritate de înaltă puritateMaterial grafit izotrop(Puritatea este de obicei ≥99,999%) și este modificată prin procese speciale (cum ar fi depunerea de vapori chimici CVD sau acoperirea de suprafață). Grafitul de înaltă puritate este utilizat pe scară largă în sistemele PECVD datorită conductivității sale electrice excelente și a conductivității termice ridicate (80 ~ 150 W/M · K). AcestMaterial de grafit de înaltă puritatePoate menține o stabilitate structurală bună și o stabilitate chimică în medii la temperaturi ridicate și poate rezista la coroziunea de gaze reactive și plasmă.

Ⅱ. Care sunt proprietățile fizice ale barcii de grafit?

Proprietățile fizice ale bărcilor de grafit PECVD includ:

● Conductivitate electrică: Grafitul izostatic are o conductivitate electrică excelentă, ceea ce îi permite să gestioneze eficient energia electrică și să promoveze generarea și menținerea plasmei în timpul procesului PECVD.

●  Conductivitate termică: Conductivitatea termică ridicată a grafitului (aproximativ 80 ~ 150 W/M · K) ajută la menținerea unui mediu de temperatură stabil în timpul procesului PECVD și la asigurarea depunerii uniforme a filmelor subțiri.

●  Densitate: Densitatea grafitului policristalin comercial variază de la 1,30 g/cm³ la 1,88 g/cm³. Cu cât densitatea este mai mare, cu atât proprietățile fizice și mecanice sunt mai mari, care pot îmbunătăți durata de viață a produsului.

Ⅲ. Care sunt avantajele bărcii de grafit PECVD în comparație cu barca de grafit obișnuită?

În comparație cu bărcile obișnuite de grafit, bărcile de grafit PECVD au următoarele avantaje:

Ⅳ. De ce să alegeți barca de grafit PECVD a Veteksemicon?

După cum știm cu toții, Veteksemicon este un producător și furnizor principal de produse de acoperire cu semiconductor șiProduse de grafitîn China. NoastreBarci de grafit PECVDsunt utilizate în principal în industriile semiconductoare și fotovoltaice, în special în procesele PECVD și CVD.

Barcile de grafit sunt de obicei utilizate ca purtători pentru a transporta napolitane de siliciu sau alte materiale pentru a asigura manipularea în siguranță și transportul acestor materiale în medii cu temperaturi ridicate și plasmatice. De exemplu, în procesul de fabricație a semiconductorilor, bărcile de grafit PECVD Veteksemicon sunt proiectate pentru procesele de depunere a vaporilor chimici îmbunătățiți cu plasmă. Barca de grafit joacă rolul depunerii straturilor de pasivare de nitrură de siliciu (SINₓ) și a filmelor constante dielectrice scăzute (scăzute-K).

În câmpul fotovoltaic, bărcile de grafit PECVD sunt utilizate pentru a prepara celule solare cu film subțire pe bază de siliciu (cum ar fi straturile de pasivare amorfe de siliciu A-Si: H) și PERC. Barca de grafit PECVD a Veteksemicon optimizează procesul de acoperire prin distanțarea eficientă a napolitanelor de siliciu și inducând descărcarea de strălucire pentru a obține o depunere uniformă de acoperire.

Mai important, Veteksemicon poate oferi produse și servicii tehnice personalizate și poate proiecta și fabrica produse cu barca de grafit din diferite specificații în funcție de cerințele dvs. reale de proces. Alegerea Veteksemicon înseamnă alegerea unui lider al industriei cu o putere puternică în industriile semiconductoare și fotovoltaice. Așteptăm sincer să devenim partenerul tău pe termen lung.